في غرفة الطباعة باستخدام تقنية الليثوغرافيا، لا يتم الكشف عن اختلافات درجة حرارة PEB من خلال أضواء تحذيرية. بل يظهر ذلك من خلال تغيرات في عرض الخطوط، وانخفاض في مستوى الجرعة المستخدمة، بالإضافة إلى النفايات التي يتم اكتشافها فقط بعد انتهاء العملية. لقد قمنا بتصميم جهاز التسخين هذا للتخلص من هذه العوامل غير المحددة، لأن كيمياء المواد المستخدمة في الطباعة لا تسمح بأي اختلافات في درجة الحرارة.
ما هو مهم من الناحية التقنية؟ نستخدم أشعة تحت الحمراء ذات الموجات القصيرة، مع تصميم يعتمد على الكوارتز والهالوجين، بحيث يتم نقل الحرارة مباشرة إلى الرقاقة. هذا يقلل من الجمود الحراري، مما يسرع من عملية تثبيت درجة الحرارة. على سطح التسخين، تظل درجة الحرارة مستقرة عند ±0.1 درجة مئوية، ويظل النظام مستقرًا بما يكفي لضمان عدم حدوث أي تغيرات كبيرة في الأبعاد الحرجة للرقاقة.
يمكن استخدام هذا الجهاز في غرف نظيفة من الفئة 1 إلى 100، وتم اختيار المواد والأغلفة المستخدمة للحفاظ على عدم وجود أي جسيمات، بينما يتم السيطرة على المنتجات الثانوية الناتجة عن عملية التسخين. في الإنتاج، من الضروري أن يعمل هذا الجهاز باستمرار، فهو مصمم للعمل 24/7 دون أي توقف غير مخطط له، حتى في الحالات التي لا يمكن فيها تحمل أي توقف.
لماذا يعمل هذا الجهاز في الأماكن التي يُحتاج فيها إلى تسخين الرقاقات؟ في عملية معالجة المواد الحساسة للضوء، يلعب خطوة PEB دورًا مهمًا في تحديد الأنماط المراد تشكيلها. يقوم هذا الجهاز بتحويل الخطة الموضوعة إلى درجة حرارة مستقرة، سواء كان الأمر يتعلق بعملية التسخين الخفيفة أو الشديدة.
ونتيجة لذلك، يمكن الحصول على درجة تحكم أفضل في الأبعاد الحرجة للرقاقة، بالإضافة إلى تقليل عدد الرقاقات التي تحتاج إلى إعادة معالجة، وبالتالي يصبح معدل الإنتاج أكثر استقرارًا. كما أن استهلاك الطاقة يقل بفضل نقل الحرارة الفعال والتحكم الدقيق في درجة الحرارة، بالإضافة إلى أن فترات الصيانة تطول لأن المكونات متينة والتصميم الحراري ممتاز.
أشياء يجب مراعاتها: عملية التركيب بسيطة، لكن لا يزال من الضروري الانتباه إلى مسار الغازات الخارجة، وعملية التنقية، بالإضافة إلى الأنظمة الموجودة في الجهاز نفسه. يجب التأكد من أن الجهاز الخاص بالتحكم قادر على مواكبة سرعة استجابة الجهاز؛ فإذا كانت دورة PID بطيئة جدًا، فلن تتمكن من الحصول على أقصى فائدة من سرعة التسخين.
يجب إجراء اختبارات قصيرة لمقارنة بيانات درجة الحرارة مع بيانات عرض الخطوط، ثم يتم تثبيت الإعدادات المناسبة.