في أرضية الرقائق، يكفي حدوث انحراف بمقدار نصف درجة أثناء عملية التجفيف لإحداث خلل في الأبعاد الحرجة للرقائق، وبالتالي ظهور عيوب في سطح الرقائق. لذا، من الضروري استخدام حرارة محددة بدقة، وذلك في كل جولة تجفيف وفي كل دفعة من الرقائق. هذه هي الحقيقة التي يتم بناء مصابيح الأشعة تحت الحمراء المستخدمة في تجفيف رقائق السيليكون حولها.
ما يهم من الناحية التقنية: نستخدم مصابيح أشعة تحت حمراء ذات موجات قصيرة، مع قدرة على التحكم الدقيق في درجة الحرارة، بحيث يتم نقل الحرارة بسرعة دون تجاوز الحدود المسموح بها. في المنطقة المضاءة، تظل درجة الحرارة ثابتة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، كما يتم التحكم في دقة النتائج باستخدام أجهزة قياس درجة الحرارة عند مخرج المصباح. النظام ككل متوافق مع بيئات الغرف النظيفة من الفئة 1 إلى الفئة 100، وذلك بفضل استخدام مواد وتصميمات تساعد في الحفاظ على استقرار درجة الحرارة. في الواقع، تعمل هذه المصابيح لأكثر من 5,000 ساعة دون أن تفقد استقرارها في درجة الحرارة، وهو ما يمكن الاعتماد عليه.
لماذا تعمل هذه المصابيح في العمليات الفعلية: في عمليات التجفيف بالدوران، تساعد مصابيح الأشعة تحت الحمراء في تجفيف الرقائق بسرعة، دون أن يؤدي ذلك إلى تشوهات في شكل الرقائق. في عمليات الطباعة، تساعد نفس المصابيح في التحكم في درجة الحرارة بدقة، مما يساعد في تحسين دقة الخطوط وتقليل الحاجة إلى إعادة العمل. النتيجة هي تقليل كمية الرقائق المهدرة، وتقليل استهلاك الطاقة بفضل الكفاءة العالية في نقل الحرارة، بالإضافة إلى تقليل وقت التوقف الناتج عن الصيانة. التصميم يلبي متطلبات المعدات الدولية للشرائح الإلكترونية، ويوفر بديلاً فعالاً للمنصات الحالية.
ما يجب التخطيط له: يتعلق الأمر بالفراغات الحرارية وتدفق الهواء – يجب تركيب المصباح في المكان المحدد وتوجيهه بحيث يكون في مسار الرقائق، وإلا فإن الدقة المطلوبة لن تتحقق. قد يتطلب الأمر استخدام حواجز حماية أو تعديلات في مسار الأسلاك بالقرب من أجهزة المسح. يجب التخطيط لاختبار قصير لقياس درجة الحرارة ومقارنتها بالمعايير المطلوبة، ثم تثبيت الإعدادات المناسبة.