লাইনে, ৩০০ মিমি আকারের ওয়েফারটি বেকিং স্টেশনে চলে যায়। ফটোরেজিস্টটিকে কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই ওয়েফারের পুরো পৃষ্ঠে নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় পৌঁছাতে হয়। এই সময়সীমা মিস হলে সিডি-এর গুণমান কমে যায়; এর ফলে ক্ষতি হয়।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা ক্লিনরুমে ব্যবহৃত ইনফ্রারেড হিটারগুলোকে শর্ট-ওয়েভ NIR সোর্সগুলোর ভিত্তিতে তৈরি করেছি; কারণ দ্রুত ও নির্ভুলভাবে শক্তি সরবরাহ করা প্রয়োজন। ক্লোজড-লুপ ফিডব্যাক ব্যবস্থার ফলে তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে। এর ফলে ওয়েফারের গুণমান সুনিশ্চিত হয়; ডেটা লগ থেকেই এটা জানা যায়।
কвар্টজ এনভেলপ ও সিরামিক বডি ক্লাস ১–১০০ ক্লিনরুমের জন্য উপযুক্ত; কারণ এগুলো কম গ্যাস নিঃসরণ করে এবং কণা উৎপাদন শূন্যে রাখে। পাওয়ার ডেনসিটি প্রক্রিয়ার চাহিদা অনুযায়ী সামঞ্জস্য করা হয়েছে; ফলে সফট বেকিং ও হার্ড বেকিং উভয় ক্ষেত্রেই তাপমাত্রা স্থিতিশীল থাকে।
লিথোগ্রাফি ও ওয়েফার প্রক্রিয়ায় এর কী ভূমিকা?
লিথোগ্রাফি ও ওয়েফার প্রক্রিয়ায় বেকিং ধাপটিই সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ। নির্ভুল তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের ফলে লাইন-টু-লাইন ও লট-টু-লট ভিন্নতা কমে যায়। এর ফলে কম অপচয় হয় এবং সিডি-এর গুণমান স্থিতিশীল থাকে।
হিটারটি দ্রুত নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় পৌঁছায় এবং সেখানেই থাকে; ফলে শক্তি ব্যবহার কমে যায়। আর এর নির্ভরযোগ্যতা ২৪/৭ কার্যক্রমের জন্য উপযুক্ত; কম রক্ষণাবেক্ষণ দরকার হয়।
ইনস্টল করার আগে কী পরিকল্পনা করা উচিত?
এই হিটারগুলো বিদ্যমান বেকিং মডিউলগুলোর সাথে সহজেই সংযুক্ত হয়; কিন্তু চেম্বারের তাপীয় বৈশিষ্ট্য ও মাউন্টিং জ্যামিট্রির সাথে এগুলোকে সামঞ্জস্য করা প্রয়োজন। ইন্টারফেস সংক্রান্ত বিষয়গুলো আগেই ঠিক করা উচিত—ক্লিয়ারেন্স, অ্যালাইনমেন্ট, এবং তাপমাত্রা সেন্সরটি কোথায় রাখা হবে ইত্যাদি।
আপনার যন্ত্রপাতির জন্য উপযুক্ত ভোল্টেজ ও কানেক্টর টাইপ নির্ধারণ করুন; আর আপনার প্রক্রিয়ার জন্য ক্লিনরুমের শ্রেণিবিন্যাস সংক্রান্ত নিয়মগুলো নিশ্চিত করুন।