ফ্যাব ফ্লোরে, একটি ভিজা ওয়েফার এমন একটি দায়িত্ব যা আপনি নিতে পারবেন না।
অবশিষ্ট আর্দ্রতা এক্সপোজারের পরে প্যাটার্নের পতনের জন্য আপনাকে প্রস্তুত করে, এবং একটি বেক প্রোফাইল যা সামান্যই ভুল হবে সেটি আপনার সংকটপূর্ণ মাত্রাগুলোকে হ্রাস করবে। এই কারণেই সৌর কোষের ওয়েফার শুকানোর ল্যাম্পের অস্তিত্ব: ওয়েফার শুকানোর, ফটোরেজিস্ট সফট বেক এবং হার্ড বেক, প্যাকেজিং এনক্যাপসুলেশন কিউর, এবং পোস্ট ক্লিন শুকানোর জন্য অনুমান করা থেকে মুক্তি দেওয়া।
আমরা কোয়ার্টজ সমাবেশে নিকট-ইনফ্রারেড (NIR) হ্যালোজেন এমিটারদের উপর ভিত্তি করে ল্যাম্পটি তৈরি করেছি। বিষয়টি হল দ্রুত, দিকনির্দেশক তাপায়ন কম তাপীয় ভর সহ। এর অর্থ হল দ্রুত স্থিতিশীলতা এবং কঠোর নিয়ন্ত্রণ: ±0.1°C ওয়েফার-স্তরের একত্বতা আলোকিত অঞ্চলের মধ্যে, পুনরাবৃত্তিযোগ্য সেটপয়েন্ট-থেকে-ওয়েফার প্রতিক্রিয়া, এবং ক্লাস 1–100 এর জন্য ক্লিনরুম-সামঞ্জস্যপূর্ণ নির্মাণ।
আউটপুট দীর্ঘ দৌড়ে স্থিতিশীল থাকে। ফিল্ড ইউনিটগুলি 5,000+ ঘণ্টা লগ করেছে 5% এর কম তীব্রতা ড্রিফট সহ। এবং আমরা একটি সিলড অপটিক্যাল পাথ এবং কম আউটগ্যাস উপকরণ ব্যবহার করে কণার উৎপাদন কম রাখি, যাতে দূষণ প্রক্রিয়া চেম্বারের বাইরে থাকে।
লিথোগ্রাফিতে, ল্যাম্পটি দ্রুত ওয়েফার শুকিয়ে দেয় কোনও সলভেন্ট স্ট্রোক ছাড়াই, তারপর সফট বেক এবং হার্ড বেক স্থিতিশীল তাপমাত্রায় চালায় যা সিডি এবং প্রোফাইল টার্গেটকে সুরক্ষিত করে। প্যাকেজিংয়ে, এটি এনক্যাপসুল্যান্ট কিউরকে ত্বরান্বিত করে সাবস্ট্রেটের তাপীয় বাজেট নষ্ট না করে। ভিজা ক্লিনিংয়ের পরে, এটি প্যাটার্নযুক্ত ওয়েফারগুলোকে পরিষ্কারভাবে শুকিয়ে দেয়—কোনও জলছাপ ছাড়াই—এতে আপনি পুনঃকর্ম কমাতে পারেন।
শক্তির ব্যবহার ডিউটি-সাইকেল তাপায়ন এবং ওয়েফারে কার্যকরী সংযোগের মাধ্যমে পরিচালিত হয়, তাই আপনি থ্রুপুট বজায় রাখেন যখন পরিচালনার খরচ কমে যায়।
ইনস্টলেশন বিস্তারিত বিষয়ে আসে। অপটিক্যাল অ্যালাইনমেন্ট সঠিকভাবে করুন এবং নিশ্চিত করুন যে ল্যাম্পের হাউজিং যথেষ্ট নিষ্কাশন রয়েছে; দূরত্ব কয়েক মিলিমিটারও পরিবর্তিত হলে তাপীয় সংযোগ স্থানান্তরিত হয়। ল্যাম্পটি সমতল, প্রতিফলিত, বা অন্ধকার পৃষ্ঠে সর্বোত্তম কাজ করে। অত্যधिक টেক্সচারযুক্ত বা অসম সাবস্ট্রেট স্থানীয় তাপমাত্রাকে স্থানান্তরিত করবে, তাই আপনার ফিক্সচারটি ওয়েফার পথের সাথে মেলানোর জন্য পরিকল্পনা করুন।
ভোল্টেজ এবং সংযোগকারী স্পেসিফিকেশন আপনার সরঞ্জামের বিরুদ্ধে যাচাই করুন। সেটআপটি সঠিকভাবে করতে পারলে, আপনি প্রক্রিয়া উইন্ডো প্রসারিত করেন এবং সাইকেল সময় কমিয়ে আনেন—উৎপাদন হার ছাড়াই।