Na výrobní lince stačí půl stupně odchylky během pečení fotorezistu k tomu, aby se šířky linek posunuly a vznikl značný odpad. Nulová tolerance...

Na podlaze není možné volit mezi dostupností RTP a řízením teploty. Pokud lampa ztratí stabilitu nebo topení nedokáže udržet uniformitu, okamžitě to...