Auf der Fertigungsfläche führen thermische Schwankungen während des Burn-in-Prozesses sowie bei der Erhitzung des Fotoleitmittels nicht nur dazu, dass die Qualität der Produkte beeinträchtigt wird – sie können diese Qualität sogar völlig zerstören. Eine Uneinheitlichkeit von 0,5 °C auf der Waferoberfläche führt zu einem Gradienten im Fotoleitmittel. Dieser Gradient wiederum verursacht nach der Belichtung und Entwicklung dimensionale Fehler. Man braucht daher eine Heizquelle, die wie ein echter Prozessparameter behandelt werden kann – und nicht als unberechenbarer Faktor.
Was wirklich wichtig ist
Wir haben unsere Heizlampen für den Burn-in-Test an Kurzwellen-NIR-Kvarsender angepasst. Diese liefern Energie schnell und gezielt – mit präziser Spektralkontrolle. Dadurch bleibt die Temperatur auf der Waferoberfläche innerhalb von ±0,1 °C konstant. Zudem ermöglichen diese Lampen wiederholbare Erhitzungsprozesse – von sanfter bis zu intensiver Erhitzung. Die thermische Reaktion ist schnell genug, um stabile Temperaturen zu erzielen, ohne dass es zu Überschreitungen kommt. Das System ist außerdem für den Einsatz in Reinräumen der Klassen 1–100 geeignet – dank Materialien mit geringer Gasemission sowie einer Konstruktion, die an der Heizstelle keine Partikel erzeugt. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil – mit weniger als 5 % Intensitätsverlust. So bleibt das thermische Gleichgewicht von Charge zu Charge konstant.
Warum das genau das richtige System ist
Beim Burn-in-Test sowie bei Prüfverfahren muss das Bauteil einem realistischen thermischen Stress ausgesetzt werden – ohne dass störende Einflüsse durch das Verpackungsmaterial entstehen. Bei der Lithografie wiederum benötigt das Fotoleitmittel eine gleichmäßige Erhitzung über die gesamte Waferoberfläche. Unsere Lampen gewährleisten diese Genauigkeit – bei gleichzeitig niedrigem Energieverbrauch und langen Wartungsintervallen. Dadurch kann man die kritischen Abmessungen besser kontrollieren, es kommen weniger Rückarbeiten vor – und die Betriebszeit kann besser geplant werden. Kein Hin- und Herlaufen wegen unerwarteter Temperaturschwankungen mitten in der Nacht mehr.
Worauf man achten muss
Diese Lampen sind zwar kompakt, doch ihre thermische Dichte ist hoch. Die Installation erfordert eine ordnungsgemäße thermische Isolation von den benachbarten Komponenten sowie eine ordnungsgemäße Entlüftung. Andernfalls können nahegelegene Kunststoffe und Kabel beschädigt werden. Die Lampen passen problemlos in Standardgehäuse – doch die Anpassung der Position des Emitters zur Waferoberfläche muss präzise erfolgen. Setzen Sie die Einstellungen einmal fest, dokumentieren Sie sie und sichern Sie sie ab.