در کارخانههای تولید، اختلالات حرارتی در فرآیندهای پخت نرم یا سخت، صرفاً مشکلی مربوط به عرض خطوط نیستند؛ بلکه این اختلالات به طور مداوم باعث کاهش بازدهی و قابلیت تکرارپذیری فرآیند میشوند. وقتی که فر نتواند دمای مورد نظر را در سراسر ویفر حفظ کند، پروفایلهای فوتورزیست نیز تغییر میکنند؛ در نتیجه، اصلاحات لازم برای جبران این اختلالات انجام میشود، و انرژی مورد نیاز برای کنترل فرآیند، صرف این اصلاحات میشود.
آنچه واقعاً نیاز داریم، کنترلی است که بتوانیم آن را اندازهگیری کنیم و به آن اعتماد داشته باشیم. ما پلتفرم حرارتی فوقدقیق خود را طوری طراحی کردهایم که یکنواختی دمایی در سراسر ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ کند. استفاده از گرمایش نور در فروسرخ، همراه با استفاده از قطعات کوارتزی با کیفیت بالا، باعث میشود پخت فوتورزیست به شکلی سریع و بدون هیچ مشکلی انجام شود؛ یعنی هیچ نقطه داغ یا سردی وجود ندارد.
این سیستم برای استفاده در اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ همچنین، ما با استفاده از سیستمهای نظارت در حین کار، از وجود هیچ ذرهای در فرآیند اطمینان حاصل میکنیم. قابلیت تکرارپذیری فرآیند نیز از طریق کالیبراسیون به صورت خودکار تضمین میشود؛ بنابراین، هر بار پخت نرم یا سخت، نتایج یکسانی خواهد داشت.
نکته مهم این است که این سیستم، نوسانات حرارتی را به عنوان یک عامل باعث خرابی از بین میبرد؛ در نتیجه، کنترل ابعاد حیاتی بهتر میشود، کارهای تکراری کمتری لازم است، و عملکرد فرآیند لیتوگرافی در مراحل پیشرفته نیز پایدار خواهد بود.
گرمایش در این سیستم مستقیم و کارآمد است؛ بنابراین مصرف انرژی کاهش مییابد. همچنین، زمان کارکرد سیستم نیز ثابت میماند؛ زیرا قطعات این سیستم برای کار ۲۴/۷ مناسب هستند. در نتیجه، توقفهای غیرمنتظره کمتری رخ میدهد. پیامد این امر، زمانهای کاری قابل پیشبینی و کاهش نوسانات در فرآیندهای اتاقبندی و توسعه است.
یک نکته عملی: سیستمهای نور در فروسرخ نیاز به تنظیم دقیق مسیر نور و میزان انتشار نور دارند؛ بنابراین، زمان لازم برای تنظیم پارامترهای مربوط به فوتورزیست و سطح مورد استفاده، کوتاه خواهد بود. پس از تنظیم، فرآیند به طور مداوم ادامه خواهد داشت.