در فرآیند لیتوگرافی، تغییرات دمای PEB با استفاده از چراغ هشدار نشان داده نمیشود؛ بلکه این تغییرات در شکل خطوط مربوط به عرض لاینها، کاهش میزان دوز نور، و مقدار مواد اضافی که پس از فرآیند تولید مشخص میشود، مشهود میگردد. ما این دستگاه گرمایشی را طوری طراحی کردهایم که این عدم قطعیتها را از بین ببرد؛ زیرا شیمی مواد فوتورزیست، تغییرات دمایی خارج از محدوده مشخص شده را تحمل نمیکند.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما از امواج مادون قرمز کوتاه با ساختار کوارتز-هالوژن استفاده میکنیم؛ بنابراین گرما مستقیماً به سمت ویفر منتقل میشود. این امر باعث کاهش انرژی حرارتی و سرعت بیشتری در تثبیت دما میشود. در سطح ویفر، یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ همچنین پایداری دما به حدی است که ابعاد مهم ویفر تغییر نکند.
این دستگاه مناسب برای اتاقهای پاک با کلاس ۱ تا ۱۰۰ است؛ همچنین مواد و سیستمهای مربوط به آن به گونهای انتخاب شدهاند که ایجاد ذرات در هوا صفر باشد و محصولات جانبی نیز تحت کنترل باقی بمانند. در فرآیند تولید، لازم است که این دستگاه به طور مداوم کار کند؛ این دستگاه برای کار ۲۴/۷ طراحی شده است و حتی در شرایطی که برنامههای تولید اجازه وقفه نمیدهند، نیز کار خود را ادامه خواهد داد.
چرا این دستگاه در جاهای مهم مؤثر است؟
در فرآیند فوتورزیست، مرحله PEB مسئول افزایش شیمیایی مواد است؛ این دستگاه باعث میشود که دمای مورد نیاز برای این فرآیند به خوبی کنترل شود. این امر باعث میشود که کنترل ابعاد ویفر بهتر شود، تعداد موادی که باید دوباره پردازش شوند کاهش یابد، و بازدهی تولید نیز قابل پیشبینی باشد. استفاده از انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا انتقال گرما به خوبی انجام میشود و دما نیز به خوبی کنترل میشود. همچنین، زمان نگهداری دستگاه نیز طولانیتر میشود؛ زیرا اجزای دستگاه محکم هستند و ساختار حرارتی آن نیز به خوبی طراحی شده است.
نکاتی که باید در نظر گرفت:
نصب این دستگاه ساده است؛ اما برای ادغام آن، باید به مسیر عبور گازها، سیستمهای تخلیه گاز، و سیستمهای ایمنی موجود توجه کرد. مطمئن شوید که کنترلر موجود شما قادر به پاسخگویی سریع به دستگاه باشد؛ اگر چرخه PID خیلی آهسته باشد، نمیتوانید از تمام مزایای این دستگاه بهره ببرید. همچنین، باید یک نمونه کوتاه را امتحان کنید تا دادههای مربوط به دما را با دادههای مربوط به عرض لاینها مقایسه کنید؛ سپس مقادیر مربوط به فرآیند تولید را ثابت کنید.