در کف کارخانه، یک ویفر مرطوب یک مسئولیت است که نمیتوانید متحمل شوید. رطوبت باقیمانده شما را برای افت الگو پس از تابش آماده میکند و یک پروفایل پخت که حتی کمی هم نادرست باشد، ابعاد بحرانی شما را تغییر میدهد. به همین دلیل است که لامپ خشککن ویفر سلول خورشیدی وجود دارد: برای حذف حدس و گمان از خشککردن ویفر، پخت نرم و پخت سخت فوتورزیست، درمان بستهبندی و خشککردن پس از تمیزکاری.
ما لامپ را بر اساس منتشرکنندههای هالوژن نزدیک به مادون قرمز (NIR) در یک مجموعه کوارتز ساختیم. هدف، گرمایش سریع و جهتدار با جرم حرارتی پایین است. این به معنای نشستن سریع و کنترل دقیق است: یکنواختی ±0.1°C در سطح ویفر در ناحیه روشنایی، پاسخ قابل تکرار از نقطه تنظیم به ویفر و ساختار سازگار با اتاق تمیز برای کلاس 1–100.
خروجی نیز در طول زمانهای طولانی پایدار باقی میماند. واحدهای میدانی بیش از 5000 ساعت با کمتر از 5% تغییر شدت ثبت شدهاند. و ما تولید ذرات را با یک مسیر نوری مهر و موم شده و مواد کمگاز پایین نگه میداریم، بنابراین آلودگی از اتاق فرآیند دور میماند.
در لیتوگرافی، لامپ ویفرها را سریع بدون خطوط حلال خشک میکند، سپس پخت نرم و پخت سخت را در دماهای پایدار که از اهداف CD و پروفایل محافظت میکند، انجام میدهد. در بستهبندی، این کار تسریع درمان پوشش را بدون نفوذ به بودجه حرارتی زیرلایه انجام میدهد. پس از تمیزکاری مرطوب، ویفرهای الگو دار را به طور تمیز خشک میکند—بدون علامت آب—بنابراین نیاز به کار دوباره را کاهش میدهید.
مصرف انرژی با گرمایش چرخهای و جفتسازی کارآمد با ویفر مدیریت میشود، بنابراین در حالی که هزینههای عملیاتی کاهش مییابد، تولید را حفظ میکنید.
نصب به جزئیات بستگی دارد. تنظیم درست همراستایی نوری و اطمینان از اینکه محفظه لامپ دارای تخلیه کافی است؛ جفتسازی حرارتی اگر فاصله حتی چند میلیمتر تغییر کند، جابجا میشود. لامپ بهترین عملکرد را روی سطوح صاف، بازتابنده یا تیره دارد. زیرلایههای با بافت بالا یا ناهموار دماهای محلی را جابجا خواهند کرد، بنابراین برنامهریزی کنید که fixture شما با مسیر ویفر مطابقت داشته باشد.
ولتاژ و مشخصات کانکتور را با ابزار خود تأیید کنید. با تنظیمات دقیق، شما پنجره فرآیند را گسترش میدهید و زمان چرخه را کاهش میدهید—بدون اینکه از محصول خود بزنید.