متوقف کنید از اتلاف انرژی گرمایی خود صرفنظر کنید!
در کارخانههای تولید نیمههادی، هر وات انرژی اتلافشده، در واقع به معنای اتلاف پول است. اکثر مردم به این موضوع فکر نمیکنند؛ اما بخش زیادی از انرژی مادون قرمز تولید شده توسط عناصر گرمایشی، در دیوارههای اتاق از بین میرود. این یک هدررفت انرژی است.
به همین دلیل از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. البته این روش شاید پیچیده به نظر برسد، اما هدف ساده است: اطمینان از اینکه گرما واقعاً به ویفر برسد و نه اتاق را گرم کند.
چرا طلا؟
لامپهای کوارتزی استاندارد، انرژی را در تمام جهات پراکنده میکنند. با اضافه کردن لایهای نازک از طلا، میتوانیم بیش از ۹۸٪ از انرژی مادون قرمز را بازتاب دهیم.
این کار، کل وضعیت را تغییر میدهد؛ به جای پراکندگی گسترده و ضعیف گرما، یک پرتو متمرکز به دست میآید. به این ترتیب، میتوانید دمای مورد نظر را خیلی سریعتر به دست آورید. همچنین، از آنجایی که نیازی نیست ولتاژ را برای جبران این اتلافات افزایش دهید، فیلامنتها کمتر خراب میشوند.
رساندن گرما دقیقاً به جای مناسب آن
نکته مهم این است که شکل بازتابنده باید به گونهای باشد که گرما دقیقاً روی ویفر بریزد. اگر از سیستمی استفاده کنید که این تنظیمات را نداشته باشد، نقاط سردی در سطح ویفر ایجاد خواهد شد. در سطوح ۳۰۰ میلیمتری، این تفاوتهای دمایی واقعاً مشکلساز هستند. با تنظیم مناسب، گرما در سراسر سطح یکنواخت خواهد بود.
تضادهای موجود (چون همیشه یک تضاد وجود دارد)
مشکل اینجاست که وقتی انرژی زیادی را در یک نقطه متمرکز میکنیم، الکترودهای لامپ آسیب میبینند. همچنین، بدنه لامپ نیز باید با بخشی از گرمای بازتابی کنار بیاید.
نمیتوانید از سیستم خنککننده خود چشمپوشی کنید؛ اگر جریان هوا کافی نباشد، لامپها خیلی سریع خراب خواهند شد. باید مطمئن شوید که سیستم خنککننده شما میتواند با این فشار اضافی کنار بیاید.
نتیجهگیری
ما این دستگاهها را به عنوان جایگزین ساده برای آرایههای IR موجود طراحی کردهایم. کافی است آنها را به کنترلرهای موجود خود وصل کنید؛ کار تمام خواهد شد.
نکته خوب این است که میتوانید مشاهده کنید که میزان مصرف انرژی کاهش پیدا کرده، در حالی که دمای فرآیند همچنان ثابت باقی میماند. سیستم HVAC شما نیز از این موضوع سپاسگزار خواهد بود، زیرا گرمای اضافی کمتری وارد کارخانه میشود.