Comment sécher correctement les plaques de capteurs MEMS
Le séchage des plaques de capteurs MEMS est une opération délicate. Si la répartition de la chaleur n’est pas optimale, la tension superficielle provoque des adhérences entre les différentes parties de la plaque, ce qui endommage les membranes sensibles du capteur.
Pour éviter cela, nous utilisons des éléments de chauffage infrarouges spécialisés. L’objectif est simple : faire évaporer instantanément les liquides restants, sans endommager les capteurs.
La lutte contre la chaleur
Il faut que la température soit uniforme sur toute la surface de la plaque. Si un endroit est plus chaud que les autres, la plaque se déforme. C’est tout.
Nous utilisons des éléments de chauffage à haute densité de puissance, afin qu’ils puissent chauffer rapidement. Mais il y a un problème : une grande puissance permet d’accélérer le processus de séchage, mais elle exerce aussi une forte pression sur les alimentations électriques. Il est donc important de s’assurer que l’alimentation électrique puisse supporter cette montée brutale de courant lorsque le chauffage est activé.
Maintenir la propreté
Dans une usine de fabrication, la contamination est un vrai cauchemar. Un seul petit fragment de métal suffit pour gâcher toute la production.
C’est pourquoi nous plaçons les filaments de chauffage dans des tubes en quartz de haute pureté. Cela empêche toute émission de gaz et évite que des impuretés métalliques ne pénètrent dans les structures MEMS. Nous choisissons le tungstène pour ces filaments, car il a un point de fusion très élevé et reste stable. Nous évitons absolument les alliages bon marché qui se détériorent ou s’oxydent après quelques semaines d’utilisation.
Les compromis en pratique
Nous avons conçu ces éléments de chauffage pour qu’ils puissent remplacer directement les modèles standard. Nous avons même renforcé les connecteurs, afin que les lampes ne bougent pas lorsque la machine commence à vibrer.
Mais il faut quand même trouver un équilibre entre vitesse et stress. Il est tentant d’augmenter la tension pour accélérer le séchage, mais cela provoque des chocs thermiques. Il faut trouver le bon compromis entre la puissance de la lampe et la vitesse de transport des plaques. Sinon, les bords des plaques risquent d’être endommagés.
Un conseil : ne sur-spécifiez pas la puissance du chauffage par rapport à l’espace disponible. Si le chauffage est trop puissant, les ventilateurs de refroidissement devront travailler à pleine capacité pour éviter que la boîtier ne fond.