Arrêtez de gaspiller votre énergie thermique !
Dans une usine de semi-conducteurs, chaque watt gaspillé représente en réalité de l’argent jeté par les fenêtres. La plupart des gens ne y pensent pas, mais une grande partie de l’énergie infrarouge émise par les éléments chauffants s’échappe simplement et disparaît dans les murs de la pièce. C’est du gâchis.
C’est pourquoi nous utilisons des réflecteurs recouverts d’or. Ça peut sembler compliqué, mais l’objectif est simple : faire en sorte que la chaleur atteigne bien le wafer, plutôt que de chauffer toute la pièce.
Pourquoi de l’or ?
Les lampes en quartz standard émettent de la chaleur dans toutes les directions. En ajoutant une fine couche d’or, nous pouvons refléter plus de 98 % de cette énergie infrarouge. Cela change complètement la situation : au lieu d’une chaleur diffusée et faible, on obtient un faisceau concentré. Ainsi, il est possible d’atteindre la température souhaitée beaucoup plus rapidement. De plus, comme on n’a pas besoin d’augmenter la tension pour compenser les pertes, les filaments ne brûlent pas aussi souvent.
Diriger la chaleur exactement là où elle est nécessaire
Le véritable secret réside dans la forme du réflecteur. Nous ajustons cette forme pour contrôler précisément comment la chaleur atteint le wafer. Si vous utilisez un système qui n’est pas adapté de cette manière, vous aurez des zones froides. Sur une surface de 300 mm, ces écarts de température sont un vrai problème. Avec un bon réglage, la chaleur est uniforme et prévisible sur toute la surface.
Les compromis (car il y en a toujours)
Voici le problème : lorsque l’on concentre autant d’énergie, les électrodes de la lampe en souffrent. De plus, le boîtier doit gérer une partie de cette chaleur réfléchie. On ne peut pas ignorer le système de refroidissement. Si le flux d’air est insuffisant, les lampes vont se détériorer beaucoup plus vite. Il faut donc s’assurer que les systèmes de refroidissement peuvent gérer cette densité supplémentaire d’énergie.
En résumé
Nous avons conçu ces dispositifs pour qu’ils remplacent facilement vos anciens systèmes de chauffage par rayonnement infrarouge. Il suffit de les brancher sur vos contrôleurs existants, et c’est prêt. Le meilleur aspect ? Vous verrez effectivement diminuer la consommation d’énergie, tandis que les températures de traitement resteront stables. Votre système de climatisation vous en sera également reconnaissant, car moins de chaleur inutile s’échappera de l’usine.