נורת אינפרא אדום לייבוש שבבי סיליקון

על גבי השבבים, שינוי של חצי מעלה במהלך תהליך הייבוש יכול לגרום לסטיות בממדים החשובים של השבב, ולכן להופעת פגמים בחומר הפוטורזיסט. יש צורך בחום שיהיה...