מחמם ייבוש אוטומטי ללוח שבבים

על רצפת הייצור, עיבוד הפוטורזיסט וייבוש לאחר הניקוי אינם מאפשרים טעויות. מדובר בסביבות סובלנות ברמת ננומטרים. טמפרטורת אפייה שמזדחפת, פרופיל ייבוש...