फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, “सॉफ्ट बेक” या “हार्ड बेक” के दौरान होने वाला थर्मल ड्रिफ्ट, केवल लाइन-विड्थ संबंधी समस्या ही नहीं है; बल्कि यह उत्पादन की गुणवत्ता एवं पुनरावृत्ति क्षमता को भी कम कर देता है। जब ओवन, वेफर पर निर्धारित तापमान को बनाए नहीं रख पाता, तो फोटोरेजिस्ट की संरचना में बदलाव हो जाता है, और इसके परिणामस्वरूप थर्मल बजट उपायों पर ही खर्च हो जाता है, बजाय इसके कि उसे नियंत्रण में रखा जा सके।
वास्तव में, हमें ऐसा नियंत्रण चाहिए जिसे हम माप सकें… एवं जिस पर भरोसा किया जा सके। हमने अपना अत्यधिक सटीक थर्मल प्लेटफॉर्म ऐसे ही डिज़ाइन किया है, ताकि पूरी प्रक्रिया के दौरान वेफर पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहे। NIR रेडिएंट हीटिंग, एवं इंजीनियर्ड क्वार्ट्ज घटकों के कारण, फोटोरेजिस्ट को तेज़ एवं सटीक तरीके से गर्म किया जा सकता है… बिना किसी गर्म/ठंडे क्षेत्र के।
यह प्लेटफॉर्म क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में ही काम करने के लिए डिज़ाइन किया गया है… एवं हम “इन-साइट मॉनिटरिंग” के माध्यम से कणों की उपस्थिति की जाँच करते हैं। बंद-लूप कैलिब्रेशन के कारण, प्रत्येक “सॉफ्ट बेक”/“हार्ड बेक” प्रक्रिया, पिछली प्रक्रियाओं के समान ही होती है।
इसका लाभ यह है कि थर्मल विविधता के कारण होने वाली खराबियाँ दूर हो जाती हैं… परिणामस्वरूप क्रिटिकल डाइमेंशनों पर बेहतर नियंत्रण होता है, पुनर्कार्य कम हो जाता है… एवं उन्नत नोड्स में भी लिथोग्राफी प्रक्रिया स्थिर ही रहती है।
हीटिंग प्रक्रिया प्रत्यक्ष एवं कुशल होने के कारण, ऊर्जा की खपत कम हो जाती है… एवं उपकरण 24/7 काम करने के लिए ही डिज़ाइन किए गए हैं… इसलिए अप्रत्याशित रुकावटें भी कम हो जाती हैं। परिणामस्वरूप, प्रक्रिया में अनियमितताएँ कम हो जाती हैं।
एक महत्वपूर्ण बात यह है कि NIR सिस्टमों में वेफर स्टैक के साथ सही लाइन-ऑफ-साइट एलाइनमेंट एवं एमिसिविटी मैचिंग आवश्यक है… आपके विशिष्ट फोटोरेजिस्ट/सब्सट्रेट स्टैक के लिए अवशोषण एवं तापमान प्रोफाइलों को समायोजित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है… एक बार यह सेट हो जाने के बाद, प्रक्रिया स्थिर ही रहती है।