फैब्रिकेशन लेवल पर, थर्मल ड्रिफ्ट ऐसी समस्या है जिसके कारण उत्पादन में दोष पैदा हो सकते हैं… और इसे हम हमेशा नहीं देख पाते। फोटोरेजिस्ट को सॉफ्ट-बेक करते समय 0.5°C का अंतर ही महत्वपूर्ण आयामों को प्रभावित कर सकता है। सफाई के बाद भी यदि वेफर की सतह समान न रहे, तो उस पर पानी के निशान बन जाते हैं… जो बाद में दोषों का कारण बन जाते हैं। हमने “लैब ऑन चिप” ड्रायिंग हीटर का उपयोग किया, ताकि ऐसी अनिश्चितताओं से छुटकारा पाया जा सके।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज-हैलोजन एमिटरों का उपयोग करके शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड ऊर्जा का उपयोग करते हैं… ऐसी ऊर्जा तेज़ी से एवं स्वच्छ रूप से सतह तक पहुँचती है… इससे किसी भी तरह के असमानताओं का कोई खतरा नहीं रहता। एक्टिव एरिया में वेफर की सतह की समानता ±0.1°C तक बनी रहती है… जबकि सेटपॉइंट की पुनरावृत्ति ±0.5°C तक होती है। इसका मतलब है कि हर बार सॉफ्ट-बेक एवं हार्ड-बेक प्रक्रिया में वही थर्मल पैटर्न अपनाया जाता है।
तापमान में परिवर्तन 2°C/सेकंड की दर से होता है… ऐसे में अतिरिक्त तापमान का कोई खतरा नहीं रहता। जब पतली परतों से विलायकों को हटाया जाता है, तो ऐसी व्यवस्था बहुत ही महत्वपूर्ण है… ऐसी व्यवस्था क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी उपयोग में आ सकती है… गर्म क्षेत्र में कोई कण नहीं बनता… एवं हीटर HEPA फिल्टरों के साथ भी काम कर सकता है। ऊर्जा घनत्व को ऐसे ही व्यवस्थित किया गया है कि त्वरित थर्मल प्रतिक्रिया हो सके… एवं कोई असमानता न हो। यह उपकरण CE-संगत पावर एवं सिग्नल इंटरफेसों के माध्यम से मानक प्रक्रियाओं में भी उपयोग में आ सकता है।
यह क्यों कारगर है?
वेफर को सुखाने हेतु गर्मी तेज़ एवं समान रूप से दी जाती है… इससे सतह का तनाव जल्दी ही कम हो जाता है… DI धोने के बाद सतह पूरी तरह साफ रहती है… कोई पानी का निशान नहीं बनता। लिथोग्राफी में भी सॉफ्ट-बेक एवं हार्ड-बेक प्रक्रियाओं में समानता बनी रहती है… CD के आयाम स्थिर रहते हैं… एवं लाइन-एज की खुरदराहट भी कम हो जाती है।
पैकेजिंग में, हीटर के कारण एनकैप्सुलेंट एवं अंडरफिलों का ठीक से सुखना संभव हो जाता है… इससे चिपकने की क्षमता बढ़ जाती है… एवं खाली जगहें कम हो जाती हैं। इसका व्यावहारिक लाभ यह है कि पुनर्निर्माण की आवश्यकता कम हो जाती है… चक्रों का समय भी स्थिर रहता है… एवं ऊर्जा की खपत भी नियंत्रित रहती है।
योजना बनाते समय किन बातों का ध्यान रखना आवश्यक है?
हीटर को ऐसे वोल्टेज की आवश्यकता है जो स्थिर रहे… ताकि ±0.1°C की समानता बनी रह सके। यदि वोल्टेज में 2% से अधिक उतार-चढ़ाव हो, तो प्रोफ़ाइल में बदलाव हो जाता है… इसलिए नियमित रूप से कैलिब्रेशन करना आवश्यक है। इंस्टॉलेशन के दौरान एक्सहॉस्ट रूटिंग का ध्यान रखना आवश्यक है… ताकि गर्म क्षेत्र वातावरणीय तनावों से अलग रह सके।
हर 5,000 घंटों में प्रमाणित रेफरेंस सेंसर के साथ कैलिब्रेशन करना आवश्यक है… ऐसा करने से ही समानता एवं पुनरावृत्ति स्तर बने रहते हैं।