अपने क्लीन रूम ट्रॉलियों को “ओवन” में बदलना बंद करें।
ज्यादातर हीटिंग उपकरण, ऊष्मा को हर दिशा में फैला देते हैं। सेमीकंडक्टर क्लीन रूम में ऐसा करना समस्याओं का कारण बनता है। जब पुराने तरह के हीटरों का उपयोग किया जाता है, तो उपकरणों की आंतरिक दीवारें उस अतिरिक्त ऊर्जा को अवशोषित कर लेती हैं।
परिणाम? उपकरणों का बाहरी हिस्सा इतना गर्म हो जाता है कि उसे छूना ही मुश्किल हो जाता है; साथ ही, उच्च तापमान के कारण उपकरणों के संवेदनशील घटक भी खराब हो जाते हैं। यह बहुत ही खराब स्थिति है।
ऊष्मा को उचित जगह पर भेजना
हम इस समस्या को दिशात्मक इन्फ्रारेड तकनीक के उपयोग से हल करते हैं। इसे स्पेस हीटर की तरह न समझें, बल्कि एक टॉर्च की तरह ही समझें। इन्फ्रारेड लैंप, वायु या धातु की सतहों को गर्म करने के बजाय, विद्युतचुम्बकीय विकिरण को सीधे कार्य-वस्तु तक भेजते हैं। ऊर्जा केवल उसी सतह पर ही जाती है, जो उन तरंगदैर्घ्यों को अवशोषित कर सकती है।
परावर्तक पृष्ठों या फोकस्ड क्वार्ट्ज आवरणों का उपयोग करके, हम ऊष्मा को आगे भेज सकते हैं। इससे ट्रॉली के अंदर “ओवन जैसी” स्थिति नहीं बनती। इस तरह, वेफर्स/सब्सट्रेट तो उचित तापमान तक पहुँच जाते हैं, लेकिन बाहरी हिस्सा ठंडा ही रहता है।
अपनी टीम को सुरक्षित रखना
उपकरणों की दीवारों पर ऊष्मा को कम करने से न केवल बिजली की लागत बचती है, बल्कि उपकरणों का उपयोग करने वाले लोगों की सुरक्षा भी सुनिश्चित होती है। जब दीवारें ठंडी रहती हैं, तो किसी को चोट लगने का खतरा नहीं रहता।
लेकिन वॉटेज का चयन सावधानी से करना आवश्यक है। उच्च-घनत्व वाले इन्फ्रारेड लैंप बहुत तेज़ी से ऊष्मा उत्पन्न करते हैं। लेकिन यदि अत्यधिक ऊर्जा का उपयोग किया जाए, तो ऊष्मा फिर भी उपकरणों के अंदर घुस सकती है। मैं आमतौर पर ऐसे लैंपों के साथ सोने से ढके या पॉलिश किए गए एल्यूमिनियम रिफ्लेक्टरों का उपयोग करने की सलाह देता हूँ।
संतुलन
दिशात्मक हीटिंग तकनीक का उपयोग करना, पुरानी प्रणालियों के मुकाबले बहुत ही आसान है… लेकिन इससे उपकरणों के कार्य-तरीके में बदलाव आ जाता है।
चूँकि ऊष्मा बहुत ही केंद्रित होती है, इसलिए यदि कार्य-वस्तु सही जगह पर न हो, तो “ठंडे बिंदु” बन सकते हैं। कार्य-वस्तु की स्थिति बिल्कुल सही होनी आवश्यक है… थोड़ी सी भी गलती से ऊष्मा असमान रूप से वितरित हो जाती है।