Mengamankan Keselamatan Saat Memanaskan Wafer di Sekitar Bahan Kimia yang Mudah Meledak
Sejujurnya, memanaskan wafer di jalur pembersihan kimia merupakan pekerjaan yang sangat berisiko. Ada uap-uhap bahan kimia yang mudah terbakar dan meledak di sekitar area tersebut, sedangkan peralatan pemanasnya berada tepat di tengah-tengahnya.
Lampu inframerah biasa tidak cocok digunakan untuk hal ini. Sebuah percikan kecil atau permukaan yang panas yang bersentuhan dengan uap bahan kimia saja sudah cukup untuk menyebabkan bencana. Kami telah menghabiskan banyak waktu untuk mencari cara agar hal ini tidak terjadi, dan semuanya berkaitan dengan bagaimana kita menyegel komponen-komponen tersebut dengan baik.
Rahasianya Terletak pada Segel yang Digunakan
Kami tidak sekadar menutupi lampu tersebut dengan penutup biasa. Sebaliknya, kami memasukkan elemen-elemen inframerah ke dalam tabung kuarsa bertekstur tinggi, lalu menyegelnya dengan rapat menggunakan metode vakum. Dengan cara ini, tercipta “dinding fisik” antara filamen listrik dan udara di sekitarnya. Kami juga menggunakan segel khusus dari bahan kaca-logam di titik-titik kontak tersebut, sehingga uap bahan kimia tidak bisa masuk ke dalam casing lampu. Jika Anda bekerja dengan bahan kimia yang sangat korosif, kami dapat menambahkan lapisan pelindung yang tahan terhadap bahan kimia tersebut agar kuarsa tidak rusak seiring waktu.
Menyeimbangkan Panas dan Stabilitas
Mencapai suhu yang tepat pada wafer bukanlah hal yang mudah. Untuk mengatasinya, kami menggunakan emitor inframerah gelombang pendek. Emitter ini dapat langsung menembus permukaan wafer, sehingga bagian lain dari campuran kimia tidak akan terlalu panas. Dengan demikian, suhu yang dihasilkan lebih stabil dan dapat diprediksi.
Namun, ada kendala. Kepadatan energi yang tinggi ini membuat lampu menjadi sangat panas. Anda perlu memastikan bahwa chasis lampu memiliki aliran udara yang cukup atau sistem pendingin yang efektif. Jika tidak, casing lampu berisiko rusak akibat beban yang berlebihan.
Menggunakannya dalam Dunia Nyata
Kami merancang Pemanas ini agar dapat digunakan sebagai pengganti lampu biasa. Anda tidak perlu merombak seluruh sistem yang ada untuk menggunakan pemanas ini. Kami menghubungkan kabel-kabelnya melalui saluran yang tahan ledakan, sehingga risiko arus listrik yang berlebihan diminimalkan. Namun, karena adanya lapisan pelindung tersebut, dibutuhkan waktu beberapa detik lebih lama agar lampu mencapai suhu maksimalnya. Ini merupakan kompromi yang harus diterima. Keselamatan adalah hal yang sangat penting, terutama ketika berhadapan dengan bahan kimia yang mudah meledak.
Cukup pasangkan pemanas ini dengan controller PID yang telah dikalibrasi dengan baik, maka suhu yang dihasilkan akan tetap stabil dalam rentang +/- 1°C. Sangat sederhana.