Nella fase di litografia, le variazioni di temperatura del PEB non vengono segnalate da luci di avvertimento. Tali variazioni si manifestano invece come tolleranze eccessive nei valori di larghezza dei bordi del circuito stampato, riduzione della margine di dosaggio richiesto, e quantità di materiale scartato che viene rilevato soltanto in seguito. Abbiamo progettato questo riscaldatore per eliminare questi problemi: infatti, la chimica del fotoresto non tollera assolutamente alcuna deviazione rispetto alle condizioni termiche ottimali.
Cosa è importante dal punto di vista tecnico
Utilizziamo radiazioni infrarosse a breve lunghezza d’onda, grazie a un sistema a base di quarzo e halogeni. In questo modo il calore viene trasmesso direttamente al wafer. Ciò riduce l’inerzia termica e permette una regolazione più rapida della temperatura. Sulla superficie di riscaldamento, l’uniformità della temperatura sul wafer rimane entro i ±0,1°C; inoltre, la stabilità della temperatura è tale che le dimensioni critiche del circuito stampato non variano significativamente da lotto a lotto.
Il dispositivo è adatto per ambienti di tipo Class 1–100. I materiali e i sigilli utilizzati garantiscono che non vi siano particelle indesiderate, mentre i prodotti di scarico vengono tenuti sotto controllo. In produzione, questo riscaldatore è essenziale per funzionare costantemente, 24/7, senza interruzioni, anche quando lo schema di produzione non permette pause.
Perché funziona dove conta
Nel processo di trattamento del fotoresto, la fase PEB è fondamentale per determinare la struttura finale del circuito stampato. Questo riscaldatore permette di mantenere una temperatura precisa, indipendentemente dal tipo di trattamento richiesto (soft bake, PEB o hard bake). In questo modo si ottiene un controllo più preciso delle dimensioni del circuito stampato, meno scarti e un rendimento prevedibile. Inoltre, l’uso energetico diminuisce grazie alla trasmissione efficiente del calore e al controllo preciso della temperatura. Gli intervalli di manutenzione aumentano, poiché i componenti sono resistenti e il design termico è efficace.
Cose da tenere a mente
L’installazione è semplice, ma è comunque necessario prestare attenzione ai passaggi legati all’aspirazione degli gas, alla purga dei gas stessi e agli interruttori presenti nel sistema di trattamento. Assicuratevi che il controllore esistente sia in grado di gestire tempi di risposta rapidi del riscaldatore; altrimenti non potrete ottenere tutti i vantaggi offerti da questa soluzione. Eseguite prima un test per verificare i profili di temperatura in relazione alle dimensioni del circuito stampato, poi fissate i parametri di lavoro del riscaldatore.