ライン上の乾燥の重要性 触媒層は、推測の余地を残さない乾燥が必要です。焼きが不十分だと溶剤を閉じ込め、剥離が発生します。焼きすぎると、活性表面積が燃焼します。どちらにしても、材料を無駄にし、セルを廃棄することになります。我々は、半導体基準で温度制御と清浄度を実現する燃料電池触媒乾燥ランプを開発しま...

ファブフロアにおけるウェットウエハは許容できない負債です。残留水分は露光後のパターン崩壊を引き起こし、わずかに異なる焼成プロファイルは重要な寸法のドリフトを引き起こします。これが、太陽電池ウエハの乾燥ランプが存在する理由です：ウエハの乾燥、フォトレジストのソフトベークおよびハードベーク、パッケージ...