Cara yang Betul untuk Mengeringkan Wafer MEMS
Mengeringkan wafer sensor MEMS merupakan proses yang memerlukan kehati-hatian yang tinggi. Jika suhu pemanasan tidak dikawal dengan betul, daya tegangan permukaan akan menyebabkan wafer tersebut melekat antara satu sama lain, dan akhirnya membran sensor yang rapuh itu akan rosak.
Untuk mengelakkan perkara ini daripada berlaku, kami menggunakan elemen pemanas inframerah khusus. Tujuannya mudah sahaja: memindahkan cecair yang masih ada pada wafer dengan cepat, tanpa merosakkan sensor tersebut.
Cabaran Berkaitan Suhu Pemanasan
Kita perlu memastikan suhu pemanasan adalah seragam di seluruh permukaan wafer. Jika ada bahagian yang lebih panas daripada bahagian lain, wafer tersebut akan bengkok. Itulah sebabnya kami menggunakan elemen pemanas yang memiliki kepadatan tenaga yang tinggi agar suhu dapat dinaikkan dengan cepat. Namun, penggunaan tenaga yang tinggi juga memberi tekanan yang besar pada sistem bekalan kuasa. Pastikan sistem bekalan kuasa anda mampu menanggung lonjakan arus elektrik ketika pemanasan berlaku.
Menjaga Kebersihan
Di kilang pembuatan, kotoran merupakan masalah besar. Sekeping logam yang kecil saja sudah cukup untuk merosakkan keseluruhan wafer tersebut. Itulah sebabnya kami menggunakan tiub kuarza berkualiti tinggi untuk melindungi elemen pemanas. Ini membantu menghalang pelepasan gas dan memastikan tiada bahan logam yang mencemari struktur MEMS. Kami memilih tungsten sebagai bahan untuk elemen pemanas kerana ia tahan panas dan stabil. Kami mengelak daripada menggunakan aloi murah yang mudah rosak setelah beberapa minggu digunakan.
Keseimbangan Antara Kelajuan dan Tekanan
Kami merancang elemen pemanas ini agar boleh digunakan sebagai pengganti modul pemanasan biasa. Kami juga meningkatkan kualiti sambungan antara komponen-komponen tersebut agar lampu tidak bergoyang ketika mesin beroperasi. Namun, kita tetap perlu mencari keseimbangan antara kelajuan pemanasan dan tekanan yang dikenakan pada wafer. Jika tidak, hujung wafer akan terbakar.
Sebagai nasihat, jangan gunakan elemen pemanas yang terlalu berkuasa untuk ruang yang tersedia. Jika elemen pemanas terlalu berkuasa, kipas penyejuk perlu bekerja keras untuk mengelakkan bahagian luar mesin daripada meleleh.