
Hentikan pembaziran tenaga panas
Dalam kilang pengeluaran semikonduktor, setiap watt tenaga yang terbuang sebenarnya sama saja dengan membuang wang secara sia-sia. Kebanyakan orang tidak memikirkan hal ini, tetapi sebahagian besar tenaga inframerah yang dihasilkan oleh elemen pemanas tersebut akan hilang dan masuk ke dalam dinding bilik tersebut. Ini merupakan pembaziran yang besar.
Itulah sebabnya kita menggunakan reflektor yang dilapisi emas. Walaunya kedengaran mewah, tujuannya sangat mudah: memastikan bahawa haba tersebut sampai ke wafer, bukannya menghangatkan seluruh bilik.
Mengapa emas?
Lampu kuarsa biasa menghasilkan radiasi ke semua arah. Dengan menambah lapisan emas yang nipis, kita dapat memantulkan lebih dari 98% daripada tenaga inframerah tersebut. Ini akan mengubah situasi secara drastik. Daripada pancaran haba yang lemah ke semua arah, kini kita mendapat pancaran haba yang lebih terfokus. Dengan cara ini, suhu yang diinginkan dapat dicapai dengan lebih cepat. Selain itu, kerana kita tidak perlu meningkatkan voltan untuk mengimbangi kehilangan tenaga, filamen lampu pun tidak akan mudah rosak.
Memastikan haba sampai ke tempat yang tepat
Rahsianya terletak pada bentuk reflektor tersebut. Kita boleh mengubah bentuknya agar haba dapat sampai ke wafer dengan tepat. Jika sistem yang digunakan tidak disesuaikan dengan baik, akan timbul kawasan-kawasan yang berkuasa rendah. Pada permukaan 300mm, perbezaan suhu yang tidak sekata merupakan masalah besar. Dengan penyesuaian yang tepat, haba akan tersebar secara merata di seluruh permukaan wafer.
Kompromi yang perlu dihadapi
Masalahnya adalah apabila tenaga yang banyak dikumpulkan, elektrod lampu akan terkesan. Selain itu, kotak lampu juga perlu menanggung haba yang dipantulkan kembali. Anda tidak boleh mengabaikan sistem penyejukan. Jika aliran udara terlalu rendah, lampu akan rosak dengan lebih cepat. Anda perlu memastikan sistem penyejukan dapat menangani beban tambahan tersebut.
Kesimpulan
Kami menciptakan alat ini sebagai pengganti yang mudah untuk array IR sedia ada. Anda hanya perlu menyambungkannya ke kawalan yang sudah ada, dan semuanya akan berjalan lancar. Yang paling penting, penggunaan tenaga akan berkurangan, sementara suhu proses tetap stabil. Sistem HVAC anda juga akan bersyukur, kerana kurangnya haba yang bocor ke dalam kilang.