Na linii produkcyjnej płyty o średnicy 300 mm trafiają do stacji suszenia. Fotorezyst musi osiągnąć wymaganą temperaturę na całej powierzchni w ciągu zaledwie kilku sekund. Jeśli tego nie uda się osiągnąć, jakość produktu pogarsza się – a to skutkuje wyższymi kosztami produkcji.
Co jest istotne pod względem technicznym Stworzyliśmy grzałki podczerwone do używania w czystych pomieszczeniach, oparte na źródłach światła krótkofalowego. Potrzebna jest szybka i efektywna przekaźnia energii.System sprzężenia zwrotnego zapewnia stabilność temperatury na poziomie ±0,1°C. Dzięki temu uzyskujemy jednorodność na poziomie całej płyty, co można łatwo sprawdzić na podstawie danych zgromadzonych w systemie sterowania.
Korpus grzałek wykonany jest z kwarcu i ceramiki, co sprawia, że nadają się one do kullanu w pomieszczeniach klasy 1–100. Charakteryzują się niskim poziomem emisji gazów oraz brakiem tworzenia się cząstek pyłu. Gęstość mocy grzałek jest dostosowana do specyfiki procesu, co zapewnia stabilną pracę zarówno przy delikatnym, jak i intensywnym suszeniu płytek.
Dlaczego to jest ważne w procesie litografii i suszenia płytek W procesie litografii i obróbki płytek krok suszenia stanowi kluczowy element procesu. Dzięki precyzyjnemu kontrolowaniu temperatury zmiany pomiędzy poszczególnymi partiiami produktów są minimalne. To oznacza mniej błędów, mniej odpadów i lepszą jednorodność parametrów płytek.
Grzałki szybko osiągają ustaloną temperaturę i utrzymują ją bez wahaniй, co zmniejsza zużycie energii. Ponadto ich niezawodność sprawia, że mogą być używane przez całą dobę z minimalną koniecznością konserwacji.
Co należy uwzględnić przed montażem Te grzałki mogą zostać łatwo zintegrowane z istniejącymi modułami suszenia, ale należy dostosować ich właściwości termiczne oraz sposób montażu do specyfikacji pomieszczeń, w których będą pracować. Należy wcześnie przemyśleć kwestie związane z interfejsem między grzałkami a resztą urządzeń, a także miejsce umieszczenia czujnika temperatury. Należy również dostosować napięcie i typ złącza do specyfikacji urządzeń, a także sprawdzić wymagania dotyczące klasy czystości pomieszczeń dla danego procesu.