На производственной линии тепловые колебания во время процедур мягкой или жесткой обработки не являются просто проблемой, связанной с шириной линий на поверхности пластины. Они негативно влияют на качество изделий и их однородность. Когда печь не может поддерживать заданный температурный режим на всей поверхности пластины, профили фотополимера меняются, что приводит к отклонениям в процессе этчинга. В результате все усилия направляются на коррекцию ошибок, а не на сохранение контроля над процессом.
Что действительно необходимо — это возможность контроля, который можно измерить и которому можно доверять. Мы создали ультрапрецизионную тепловую систему, обеспечивающую однородность температуры на всей поверхности пластины в пределах ±0,1°C на протяжении всего процесса. Использование инфракрасного обогрева в сочетании с специальными кварцевыми компонентами позволяет быстро и эффективно достигать нужной температуры без возникновения «горячих точек» или «холодных участков».
Эта система разработана для работы в чистых помещениях класса 1–100. Мы также проверяем отсутствие частиц в процессе работы с помощью встроенных датчиков. Благодаря замкнутой системе калибровки однородность процесса сохраняется, что позволяет гарантировать стабильность качества продукции при переходе к более сложным технологиям.
Обогрев происходит напрямую и эффективно, что снижает расход энергии. Кроме того, компоненты рассчитаны на круглосуточную работу, что сокращает количество неплановых остановок. В результате получается предсказуемое время выполнения процедур и минимум отклонений в процессе этчинга и обработки.
Ещё один важный момент: для работы системы инфракрасного обогрева необходимо точное выравнивание линии видимости и соответствие параметров излучения параметрам пластины. Потребуется некоторое время на настройку параметров поглощения и температуры для конкретного типа фотополимера и подложки. После этого процесс будет стабильным.