На этапе литографии отклонения температуры PEB не проявляются в виде сигналов тревоги. Они проявляются в изменениях ширины линий, уменьшении допустимого диапазона дозировки, а также в необходимости утилизации бракованных изделий, что становится очевидно только после окончания процесса. Мы разработали этот нагреватель для устранения этих неопределенностей, ведь химия фоторезиста не терпит отклонений от заданных температурных параметров.
Что имеет значение с технической точки зрения Мы используем коротковолновое инфракрасное излучение с кварцево-галогенной технологией, благодаря чему тепло передается непосредственно на пластину. Это снижает тепловую инерцию и ускоряет процесс нагрева. На поверхности нагревателя однородность температуры на уровне пластины составляет ±0,1°C, а стабильность заданной температуры достаточно высока, чтобы критические размеры изделий не менялись от партии к партии.
Устройство подходит для использования в чистых помещениях класса 1–100. Материалы и уплотнители выбраны таким образом, чтобы минимизировать образование частиц, а продукты разложения контролироваться. В производственных условиях необходимо, чтобы устройство работало непрерывно — оно рассчитано на круглосуточную работу без перерывов, даже в случаях, когда прерывания недопустимы.
Почему это работает там, где это важно В процессе обработки фоторезиста шаг PEB обеспечивает химическое усиление, которое определяет форму изделия. Этот нагреватель позволяет поддерживать заданные температурные параметры, будь то мягкий или жесткий нагрев.
Это позволяет контролировать размеры изделий более точно, сокращать количество бракованных изделий и обеспечивать предсказуемость результатов производства. Энергозатраты снижаются благодаря эффективной передаче тепла и точному контролю температуры. Промежутки времени между техническим обслуживанием увеличиваются за счет прочности компонентов и хорошей тепловой конструкции устройства.
Что нужно учитывать Установка устройства проста, но при интеграции необходимо уделить внимание системе вентиляции, подаче газов и взаимодействию с другими устройствами на линии. Убедитесь, что ваш контроллер может справляться с временем реакции нагревателя; если цикл PID слишком медленный, вы не сможете в полной мере использовать преимущества быстрого нагрева.
Сначала проведите тестовую партию, чтобы связать данные о температуре с данными о ширине линий, а затем закрепите параметры процесса.