На поверхности кристаллических пластин достаточно полуградусного смещения температуры во время процесса сушки, чтобы это привело к нарушению критических размерных характеристик и появлению дефектов на поверхности пластины. Необходимо обеспечить такую температуру, которая соответствует требованиям технологической карты, и это должно сохраняться на протяжении всего процесса, с каждой партией продукции. Именно этому и предназначены инфракрасные лампы для сушки кремниевых пластин.
Что имеет значение с технической точки зрения
Мы используем инфракрасные излучатели с короткими волнами, которые позволяют быстро достигать нужной температуры при одновременном строгом контроле спектра излучения. Благодаря этому происходит быстрая передача тепла без превышения допустимых значений температуры для фоторезиста. Во всей освещаемой зоне однородность температуры остается в пределах ±0,1°C. Повторяемость результатов обеспечивается за счет использования системы закрытого цикла контроля температуры непосредственно у выхода лампы. Весь комплекс соответствует стандартам чистых комнат от класса 1 до класса 100; материалы и конструкция корпуса способствуют минимизации образования частиц. На практике устройства работают более 5000 часов, сохраняя стабильность параметров работы в пределах 5% — это то, чего можно ожидать от таких устройств.
Почему они эффективны в реальных процессах
При сушке пластин методом вращения и последующем удалении влаги инфракрасное излучение позволяет быстрее сушить пластины, при этом не возникает проблем с деформацией узоров или образованием выступов на краях пластины. В процессе литографии такие же лампы используются для сушки пластин, при этом температура контролируется с высокой точностью. Это позволяет улучшить контроль ширины линий и сократить количество бракованных изделий. Кроме того, благодаря эффективной передаче тепла снижается потребление энергии, а также сокращается время простоя из-за необходимости технического обслуживания. Данная конструкция соответствует международным стандартам оборудования для производства полупроводников и может служить альтернативой существующим решениям.
Что необходимо учитывать при планировании
При установке необходимо учитывать тепловые разделения и направление потока воздуха. Лампу следует устанавливать на заданную высоту и выравнивать по отношению к пути перемещения пластин. В противном случае будет нарушена требуемая однородность температуры. Для обеспечения электромагнитной совместимости рядом с сканерами и другими устройствами может потребоваться использование экранов или изменение расположения проводов. Необходимо провести краткий тестовый запуск для определения температурных профилей и затем зафиксировать необходимые параметры.