บนพื้นโรงงาน การประมวลผลฟอโตรเรซิสต์และการอบแห้งหลังทำความสะอาดไม่อนุญาตให้เกิดข้อผิดพลาดมากนัก เรากำลังพูดถึงความคลาดเคลื่อนระดับนาโนเมตร อุณหภูมิการอบที่เปลี่ยนแปลง โปรไฟล์การอบแห้งที่ไม่สม่ำเสมอ หรืออนุภาคขนาดเล็กที่ปะปนเข้ามาระหว่างการให้ความร้อน — อาจทำให้แผ่นเวเฟอร์จำนวนมากเสียหายได้
เราได้พัฒนาตัวทำความร้อนอบแห้งแผ่นเวเฟอร์อัตโนมัติเพื่อลดความแปรปรวนเหล่านี้
สิ่งที่สำคัญใต้ฝากระโปรง
ตัวเครื่องใช้ตัวปล่อยแสงอินฟราเรดคลื่นสั้น (NIR) พร้อมระบบควบคุมแบบปิด วงจร อุณหภูมิเป้าหมายถูกควบคุมให้อยู่ในช่วง ±0.1°C ตลอดแผ่นเวเฟอร์ และความสม่ำเสมอทางความร้อนที่ระนาบกระบวนการถูกควบคุมที่ ±0.1°C ซึ่งเป็นปัจจัยที่ทำให้โปรไฟล์การอบนุ่มและอบแข็งมีความซ้ำกันในแต่ละล็อต
ตัวเครื่องทำจากควอตซ์และสแตนเลสเกรดสูงที่มีความบริสุทธิ์สูง พร้อมส่วนประกอบที่ปล่อยก๊าซต่ำและการจัดเรียงการไหลของอากาศแบบลามิเนียร์ เป้าหมายคือเพื่อลดการสร้างอนุภาคให้เป็นศูนย์ รองรับการเชื่อมต่อกับรางอัตโนมัติและเครื่องอบแห้งแบบแยกส่วน พร้อมการควบคุมสูตรและการติดตามย้อนกลับผ่าน RS-485/Modbus
เหตุผลที่สามารถใช้งานได้ในสายการผลิต
ในกระบวนการลิโทกราฟี อุณหภูมิการอบฟอโตรเรซิสต์จะเป็นตัวควบคุมความหนืด ความหนา และความสม่ำเสมอของขนาดเชิงวิศวกรรม (CD) ขณะเดียวกันในการทำความสะอาดและอบแห้ง การควบคุมอุณหภูมิจะช่วยลดแรงตึงผิวและป้องกันการยุบตัวของแพตเทิร์นโดยไม่ก่อให้เกิดการปนเปื้อน
การรองรับสภาพแวดล้อมในคลีนรูมระดับ Class 1–100 ได้มาจากรอยต่อที่ปิดผนึก การระบายอากาศที่รองรับ HEPA และวัสดุที่เลือกมาเพื่อลดการปลดปล่อยอนุภาค ผลลัพธ์คือมิติวิศวกรรมที่คาดการณ์ได้ การลดงานแก้ไข และประสิทธิภาพการผลิตที่คงที่
NIR มีการตอบสนองที่รวดเร็ว ทำให้เวลาวงจรลดลงโดยไม่เพิ่มค่าใช้จ่ายด้านความร้อน รวมถึงการลดการใช้พลังงานด้วย
สิ่งที่ต้องวางแผนล่วงหน้า
การติดตั้งจำเป็นต้องใช้ไฟฟ้าที่ผ่านการรับรองสำหรับคลีนรูมและการเดินสายกราวด์ที่เหมาะสมเพื่อรักษาขอบเขตของ EMI/EMC ให้ครบถ้วน ตรวจสอบให้แน่ใจว่าแรงดันไฟฟ้าและกระแสในพื้นที่สอดคล้องกับการตั้งค่าของชุดปล่อยแสงที่ใช้งาน
ตัวเครื่องขึ้นอุณหภูมิตามเป้าหมายได้รวดเร็ว แต่ต้องไม่นำเวลาการแช่อุณหภูมิเข้าในสูตรทำงาน โดยเฉพาะเมื่อเปลี่ยนความหนาหรือประเภทของเรซิสต์
หากใช้เรซิสต์ที่มีสารละลายเข้มข้น ควรตรวจสอบความสามารถของระบบระบายอากาศภายในพื้นที่เพื่อให้ความเข้มข้นอยู่ในโซนปลอดภัย เรามีเอกสารการติดตั้ง การติดตามการสอบเทียบ และการตรวจสอบหน้างานเพื่อให้สอดคล้องกับแผนการควบคุมกระบวนการของท่าน