หลอดไฟสำหรับทดสอบการเกิดความเสียหายของเวเฟอร์จากความร้อน

ในกระบวนการผลิตชิป ความแตกต่างของอุณหภูมิระหว่างขั้นตอนการทดสอบและการอบวัสดุโฟโตเรซิสต์นั้น ไม่เพียงแต่ส่งผลต่ออัตราการผลิตเท่านั้น...