Fabrikada, kurutmaya harcadığınız her watt, proses marjına harcayamadığınız bir watt’tır. Geleneksel fırınlar ve sıcak plakalar, litografi için gerçekten gerekli olan ±0.1°C termal uniformiteyi yakalamaya çalışırken termal bütçeyi rutin olarak aşar, enerji israfına yol açar. Hızlı, temiz ve tekrarlanabilir bir kurutma gerekir—üstelik enerji maliyeti kontrolden çıkmadan.
Teknik olarak önemli olan
Kuruma adımını, su ve çözücü emilimine ayarlanmış yakın kızılötesi (NIR) ısıtma etrafında oluşturuyoruz; böylece enerji, taşıyıcıları ve aparatı ısıtmaya değil, buharlaşmaya gider. Sistem, temizleme sonrası kurutma, fotoresist yumuşak pişirme ve sert pişirme aşamalarında tüm pencere boyunca wafer seviyesinde ±0.1°C termal uniformiteyi korur. Temiz oda standardında tasarım, partikül oluşumunu sıfırda tutar; böylece Class 1–100 ortamlarında kontaminasyona yol açmadan çalışabilir. Sıcaklık tekrarlanabilirliği, kapalı döngü kontrolü ve sabit yayıcı çıkışından gelir; böylece aynı termal profil vardiyadan vardiyaya devam eder.
Üretimde neden işe yarar
Avantajı hat üzerinde ortaya çıkar. Isı talep üzerine verildiği için enerji tüketimi düşer—hızlı ısınma, anında kapanma—boşta kayıplar için ödeme yapmazsınız. Fotoresist profilleri sıkı kalır. Pişirme tutarlı ve çözücü uzaklaştırma kontrollü olduğundan scumming ve footing olmaz. Sonuç, daha az yeniden işleme partisi, daha yüksek ilk geçiş verimi ve daha kısa çevrim süresidir. Bakım aralıkları da uzar: düşük termal kütle ve uzun ömür için tasarlanmış ısıtıcılar daha az yedek parça ve daha az duruş anlamına gelir.
Birkaç pratik not
NIR kurutma görüş hattı gerektirir; bu nedenle, ekipman yerleşimi ışın kapsama alanı ve wafer yönlendirmesini hesaba katmalı, parti genelinde uniformiteyi sağlamalıdır. Entegrasyon çoğu hat ve coat/bake platformunda basittir, ancak termal bağlantı ve sensör yerleşimini belirlemek için kısa bir kalifikasyon çalışması gerekir. Anlık yük profilini karşılamak için mütevazı bir yardımcı tesisat yeniden konfigürasyonu planlayın. Enerji tasarrufları gerçektir—ancak farklı bir talep şekli bekleyin.