Fabrika katında, fotoresist pişirme sırasında yarım derece sapma, çizgi genişliklerini bozmak ve çok sayıda parçanın hurdaya çıkmasına neden olmak...

Zeminde, RTP çalışma süresi ve sıcaklık kontrolü opsiyonel değildir. Lamba saparsa veya ısıtıcı uniformiteyi koruyamazsa, bunu hemen...