На виробничій ділянці обробка фоторезисту та сушка після очищення не допускають помилок. Мова йде про допуски на рівні нанометрів. Невелике відхилення температури випалювання, нерівномірний профіль сушки або одна випадкова частинка, що потрапила під час нагріву, — і багато пластин вважаються втраченими.
Ми розробили автоматизований нагрівач для сушки пластин, щоб виключити ці змінні.
Що важливо всередині
Пристрій базується на короткохвильових інфрачервоних (NIR) випромінювачах з системою зворотного зв’язку. Стабільність заданої температури утримується в межах ±0,1°C по всій пластині, і термооднорідність у робочій зоні процесу також тримається на рівні ±0,1°C. Саме це забезпечує відтворюваність профілів м’якого і жорсткого випалювання із серії в серію.
Корпус нагрівача виготовлений з кварцу та нержавіючої сталі високої чистоти, із деталями, що мають низький рівень газовиділення, та конструкцією для ламінарного потоку повітря. Мета проста — утримувати генерацію частинок на нульовому рівні. Пристрій підключається як до автоматизованих транспортних систем, так і до автономних сушарок, контроль рецептів і відстеження здійснюється через RS-485/Modbus.
Чому він витримує умови виробництва
У літографії температура випалювання фоторезисту — це регулятор в’язкості, товщини та однорідності критичних розмірів (CD). У процесах очищення та сушки контрольоване нагрівання знижує міжфазну поверхневу напругу і запобігає деформації зразків без внесення додаткового забруднення.
Відповідність чистоті приміщення класу 1–100 забезпечується герметичними спаями, вентиляцією зі фільтрами HEPA та використанням матеріалів, що мінімалізують виділення частинок. Результат — передбачувані критичні розміри, менша кількість переділів і стабільна вихідність.
NIR-випромінювач реагує швидко, тому час циклу зменшується без перевищення теплового бюджету. Також знижується енергоспоживання.
Що потрібно врахувати при плануванні
Монтаж вимагає джерела живлення та заземлення, сертифікованих для чистих приміщень, щоб забезпечити збереження меж EMC/EMI. Переконайтеся, що місцева напруга і струм відповідають конфігурації масиву випромінювачів, яку ви використовуєте.
Нагрівач швидко досягає заданої температури, але не забувайте включати час термостатування у рецепті — особливо при зміні товщини або типів резисту.
Якщо ви працюєте з розчинниковмісними резистами, перевірте пропускну здатність місцевої вентиляції, щоб концентрації не перевищували безпечні межі. Ми надаємо документацію для інтеграції, трасованість калібрувань та валідацію на місці відповідно до вашого плану контролю процесу.