300 ملی میٹر لائن پر، گلو کے خشک ہونے کا عمل صرف ایک حرارتی عمل نہیں ہے؛ بلکہ یہ ایک جہتی پابندی بھی ہے۔ چند ڈگریوں کی غلطی سے فوٹوریزسٹ کی ساخت تبدیل ہو جاتی ہے، اور ریٹیکل ویفر سے ٹکرانے سے پہلے ہی پیداوار میں کمی آ جاتی ہے۔ اسی لیے ہم نے سیمی کنڈکٹروں کے لئے انفراریڈ کا استعمال کیا، تاکہ اس عمل میں پائی جانے والی غیر یقینیتوں کو دور کیا جاسکے۔
وہ عوامل جو اہم ہیں
ہم نے چپکنے والے مواد اور فوٹوریزسٹ کی تہوں پر نیئر-انفراریڈ شعاعیں استعمال کیں، تاکہ تیز رفتاری سے حرارت پیدا ہو سکے۔ اس کے نتیجے میں ویفر کا درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر یکساں رہتا ہے؛ یہ پیمائش فلم کی سطح پر کی جاتی ہے، نہ کہ کسی ہیٹر کی سطح پر۔ یہ آلہ کلین روم میں استعمال ہوتا ہے؛ اس کے استعمال سے کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے، اور اس کی کارکردگی کی نگرانی بھی کی جاتی ہے۔ یہ آلہ مستقل طور پر کام کرتا ہے، اور کسی بھی قسم کے وقفے کے بغیر 24/7 کام کرتا رہتا ہے۔
یہ عمل کے لئے کیوں مناسب ہے
لیتھوگرافی اور بانڈنگ کے عمل میں، حرارت کی ضرورت اس جگہ ہے جہاں یہ ضروری ہے – یعنی فلم میں، نہ کہ کیریئر میں۔ نیئر-انفراریڈ شعاعیں فوری طور پر اور درست جگہ پر توانائی فراہم کرتی ہیں، جس سے عمل کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور اہم ابعاد میں کوئی تبدیلی نہیں آتی۔ یکساں درجہ حرارت کی وجہ سے ڈیوائسوں کی کارکردگی بہتر رہتی ہے، اور فضول مال کی مقدار بھی کم ہو جاتی ہے۔ بجلی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے، کیوں کہ حرارت براہ راست جذب ہوتی ہے، نہ کہ کمرے کے ماحول میں۔ اور بار بار استعمال سے کارکردگی بہتر ہوتی ہے، اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت بھی کم ہو جاتی ہے۔
حقیقت یہ ہے کہ…
نیئر-انفراریڈ شعاعوں کے لئے ویفر کی پچھلی سطح پر براہ راست نظر کی ضرورت ہے، اور اس کی اخراجی صلاحیت کو بھی کنٹرول کرنا ضروری ہے۔ اگر کیریئر عکاس یا نامنظم ہے، تو توانائی بکھر جاتی ہے، اور پروفائل بھی تبدیل ہو جاتا ہے۔ حرارتی پروفائل کو درست کرنے کے لئے وقت کی ضرورت ہے۔ ایک بار جب یہ درست ہو جاتا ہے، تو عمل میں کوئی رکاوٹ نہیں رہتی، اور حرارتی تغیرات سے کوئی مسئلہ نہیں پیدا ہوتا۔