فیبریکیشن پروسیس کے دوران، برن-این اور فوٹوریزسٹ بیکنگ کے عمل میں پیدا ہونے والی حرارتی تغیرات، نہ صرف پیداواری شرح کو متاثر کرتے ہیں، بلکہ اسے مکمل طور پر تباہ بھی کر سکتے ہیں۔ ویفر پر 0.5 ڈگری سیلسیس کی غیر یکسانیت، فوٹوریزسٹ میں تغیرات پیدا کرتی ہے، اور یہ تغیرات ایکسپوزر اور ڈیولپمنٹ کے بعد جہتی غلطیوں کا سبب بنتے ہیں۔ لہذا، حرارت کو ایک حقیقی پروسیس پیرامیٹر کے طور پر استعمال کرنا ضروری ہے، نہ کہ ایک غیر متوقع عنصر کے طور پر۔
جو چیزیں اہم ہیں
ہم نے اپنے ویفر برن-این ٹیسٹ کے لئے ایسے ہیٹنگ لیمپس استعمال کئے ہیں جو شارٹ-ویو NIR کوارٹز ایمیٹرز پر مبنی ہیں؛ کیوں کہ یہ تیزی سے اور براہِ راست توانائی فراہم کرتے ہیں، اور ان میں سپیکٹرل کنٹرول بھی بہترین ہے۔ اس کا نتیجہ یہ ہے کہ ویفر کے مختلف حصوں میں درجہ حرارت ±0.1 ڈگری سیلسیس کے اندر یکساں رہتا ہے، اور سافٹ بیکنگ سے لے کر ہارڈ بیکنگ تک، بیکنگ کے عمل کو دہرایا جا سکتا ہے۔ اس سسٹم کو کلاس 1–100 کے کلین رومز میں استعمال کیا جا سکتا ہے؛ کیوں کہ اس میں کم گیس خارج کرنے والے مواد استعمال کئے گئے ہیں، اور اس کی میکانی ساخت ایسی ہے کہ ہیٹنگ پوائنٹ پر کوئی ذرہ بھی پیدا نہیں ہوتا۔ اس سسٹم کی کارکردگی 5,000 گھنٹوں سے زیادہ عرصے تک مستحکم رہتی ہے، اور انٹینسٹی میں 5% سے بھی کم تغیر ہوتا ہے؛ لہذا آپ کا تھرمل بجٹ ہر بار یکساں رہتا ہے۔
یہ کیوں مناسب ہے؟
برن-این اور پروب ٹیسٹنگ کے دوران، ڈائی کو اصلی حرارتی دباؤ کا سامنا کرنا پڑتا ہے… بغیر کسی پیکیجنگ سے پیدا ہونے والی پریشانیوں کے۔ لیتھوگرافی کے عمل میں، فوٹوریزسٹ کو پورے ویفر پر یکساں درجہ حرارت کی ضرورت ہوتی ہے۔ ہمارے لیمپس اس درستگی کو فراہم کرتے ہیں، جبکہ توانائی کی کھپت کم رہتی ہے، اور مرمت کے وقفے بھی طویل رہتے ہیں۔ اس کے نتیجے میں، کریٹیکل ڈائمینشن کا کنٹرول بہتر ہوتا ہے، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، اور آپ اپنے ورک ٹائم کو بہتر طریقے سے منصوبہ بند کر سکتے ہیں… رات کے وقت حرارتی تغیرات کی فکر کرنے کی ضرورت نہیں رہتی۔
کن چیزوں پر توجہ دینے کی ضرورت ہے؟
یہ لیمپس چھوٹے ہیں، لیکن ان کی حرارتی کثافت بہت زیادہ ہے۔ ان کی تنصیب کے لئے، انہیں پڑوسی ماڈیولز سے مناسب طریقے سے الگ کرنا ضروری ہے، ورنہ قریبی پولیمرز اور کیبلز خراب ہو سکتے ہیں۔ یہ لیمپس معیاری ٹول فٹ پر بآسانی نصب کئے جا سکتے ہیں، لیکن ایمیٹر سے ویفر تک کی سیدھ میں بہت سخت معیارات ہیں… اسے ایک بار سیٹ کریں، اسے دستاویز کریں، اور اسے محفوظ رکھیں۔