Trên sàn sản xuất, một wafer ướt là một rủi ro bạn không thể chấp nhận. Độ ẩm còn sót lại khiến bạn gặp phải tình trạng sụp đổ mẫu sau khi tiếp xúc, và một hồ sơ nướng thậm chí chỉ sai lệch một chút cũng sẽ làm biến đổi kích thước quan trọng của bạn. Đó là lý do tại sao đèn sấy wafer tế bào mặt trời tồn tại: để loại bỏ sự đoán mò trong việc sấy wafer, nướng mềm photoresist và nướng cứng, chữa encapsulation đóng gói và sấy sau quá trình làm sạch.
Chúng tôi thiết kế đèn xung quanh các bộ phát halogen hồng ngoại gần (NIR) trong một cụm thạch anh. Điểm chính là gia nhiệt nhanh và định hướng với khối lượng nhiệt thấp. Điều này có nghĩa là ổn định nhanh chóng và kiểm soát chặt chẽ: đồng nhất mức độ wafer ±0.1°C trên khu vực được chiếu sáng, phản ứng từ điểm cài đặt đến wafer có thể lặp lại, và cấu trúc tương thích với phòng sạch cho Class 1–100.
Đầu ra cũng duy trì ổn định trong các chu kỳ dài. Các đơn vị hiện trường đã ghi nhận hơn 5,000 giờ với độ trôi cường độ dưới 5%. Và chúng tôi giữ việc phát sinh hạt thấp với một đường quang học kín và vật liệu có độ thoát khí thấp, vì vậy ô nhiễm không xâm nhập vào buồng xử lý.
Trong lĩnh vực quang khắc, đèn sấy wafer nhanh chóng mà không để lại vệt dung môi, sau đó thực hiện nướng mềm và nướng cứng ở nhiệt độ ổn định để bảo vệ các mục tiêu kích thước và hình dạng. Trong đóng gói, nó tăng tốc quá trình chữa chất đóng gói mà không làm hỏng ngân sách nhiệt của bề mặt. Sau khi làm sạch ướt, nó sấy các wafer đã được tạo mẫu sạch—không có dấu vết nước—giúp bạn giảm thiểu công việc làm lại.
Việc sử dụng năng lượng được quản lý thông qua gia nhiệt theo chu kỳ và ghép nối hiệu quả vào wafer, vì vậy bạn duy trì năng suất trong khi giảm chi phí vận hành.
Việc lắp đặt phụ thuộc vào các chi tiết. Đảm bảo căn chỉnh quang học chính xác và đảm bảo vỏ đèn có lỗ thông hơi đầy đủ; việc ghép nối nhiệt sẽ thay đổi nếu khoảng cách khác nhau chỉ vài milimét. Đèn hoạt động tốt nhất trên các bề mặt phẳng, phản chiếu hoặc tối. Các bề mặt có kết cấu cao hoặc không đồng đều sẽ làm thay đổi nhiệt độ cục bộ, vì vậy hãy lên kế hoạch cho giá đỡ của bạn để phù hợp với đường đi của wafer.
Xác minh thông số điện áp và kết nối với công cụ của bạn. Với thiết lập được điều chỉnh, bạn mở rộng cửa sổ quy trình và giảm thời gian chu kỳ—mà không hy sinh năng suất.