Hãy ngừng lãng phí năng lượng đi!
Trong nhà máy chế tạo bán dẫn, mỗi watt năng lượng bị lãng phí đều giống như việc vứt tiền đi vậy. Hầu hết mọi người không nhận ra điều này, nhưng một lượng lớn năng lượng hồng ngoại từ các bộ phận gia nhiệt lại bị thất thoát và biến mất vào các bức tường của buồng sản xuất. Đó là sự lãng phí.
Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng các bộ phản xạ được phủ bằng vàng. Nghe có vẻ phức tạp, nhưng mục đích thì rất đơn giản: đảm bảo rằng nhiệt lượng được truyền trực tiếp vào wafer, thay vì làm nóng cả căn phòng.
Tại sao lại chọn vàng?
Các bóng đèn thạch anh thông thường phát ra bức xạ theo mọi hướng. Bằng cách phủ một lớp vàng mỏng lên bề mặt bóng đèn, chúng ta có thể phản chiếu lại hơn 98% năng lượng hồng ngoại đó. Điều này giúp tạo ra một chùm nhiệt có hướng rõ ràng, giúp đạt được nhiệt độ mong muốn nhanh hơn. Ngoài ra, việc không cần tăng điện áp để bù đắp cho sự mất mát năng lượng cũng giúp giảm nguy cơ làm hỏng các sợi dây tóc trong bóng đèn.
Đưa nhiệt lượng đến đúng nơi cần thiết
Bí quyết nằm ở hình dạng của bộ phản xạ. Chúng ta điều chỉnh hình dạng này để kiểm soát chính xác cách mà nhiệt lượng được truyền xuống wafer. Nếu không làm như vậy, bạn sẽ gặp phải những vùng có nhiệt độ thấp. Trên bề mặt 300mm, những khoảng chênh lệch nhiệt độ này thật khó chịu. Với bộ phản xạ phù hợp, nhiệt lượng sẽ được phân bổ đều trên toàn bộ bề mặt wafer.
Những trade-off cần lưu ý
Tuy nhiên, khi tập trung nhiều năng lượng như vậy, các điện cực của bóng đèn sẽ bị tổn thương. Ngoài ra, vỏ bọc bóng đèn cũng phải chịu áp lực từ lượng nhiệt được phản chiếu lại. Bạn không thể bỏ qua việc làm mát. Nếu lưu lượng khí lạnh quá thấp, bóng đèn sẽ nhanh chóng hỏng. Bạn cần đảm bảo rằng hệ thống làm mát có thể xử lý được lượng nhiệt dư thừa này.
Kết luận
Chúng tôi thiết kế những bộ phản xạ này để thay thế cho các bộ phản xạ hồng ngoại hiện tại một cách dễ dàng. Bạn chỉ cần kết nối chúng vào bộ điều khiển hiện có của mình là được. Điều tuyệt vời nhất là bạn sẽ thấy mức tiêu thụ năng lượng giảm đi, trong khi nhiệt độ trong quy trình sản xuất vẫn ổn định. Hệ thống điều hòa không khí cũng sẽ được hưởng lợi, vì lượng nhiệt thất thoát ra ngoài sẽ ít hơn.