晶圆加热的安全距离

在晶圆加热过程中，热量与距离之间的平衡至关重要。如果我们真的想减少半导体工厂的碳足迹，那就必须摒弃那些耗能巨大的传统电阻炉。采用短波红外加热系统才是最佳选择，因为红外灯可以直接照射到晶圆表面，从而避免浪费能量来加热周围的空气。 不过，这里有个棘手的问题：灯泡与晶圆之间的距离至关重要。这个距离决定了...