http://eco-ir-heater.com/cs/tags/pl%C3%A1tek/ Recent content in Plátek on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo cs Mon, 08 Jun 2026 02:32:30 +0800 http://eco-ir-heater.com/cs/posts/automated-wafer-drying-heater/ Mon, 08 Jun 2026 02:32:30 +0800 http://eco-ir-heater.com/cs/posts/automated-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Automatizovaný sušička wafers"></p> <p>Na výrobní lince není při zpracování fotoresistu a sušení po čištění prostor pro chyby. Hovoříme zde o tolerancích v řádu nanometrů. Změna teploty pečení, nerovnoměrný profil sušení nebo jediná cizí částice zavlečená během ohřevu znamenají ztrátu velkého množství waferů.<br> Automatizovaný vysoušeč waferů s ohřevem byl vyvinut tak, aby tyto proměnné eliminoval.</p> <p><strong>Co je klíčové uvnitř</strong><br> Zařízení využívá krátkovlnné infračervené (NIR) zářiče s řízením v uzavřené smyčce. Stabilita nastavené teploty zůstává v rozmezí ±0,1°C přes celý wafer a tepelná uniformita v pracovním prostoru je udržována také na úrovni ±0,1°C. To zajišťuje opakovatelnost měkkých i tvrdých pečicích profilů šarži po šarži.<br> Tělo ohřívače je z křemene a vysoce čisté nerezové oceli, s komponenty s nízkým emisním výtokem a laminarizovaným prouděním vzduchu. Cílem je jednoduchý: eliminovat tvorbu částic na nulu. Zařízení se připojuje k automatizovaným dopravníkům a samostatným sušičkám, přičemž řízení receptur a sledovatelnost probíhá přes RS-485/Modbus.</p>