Hören Sie auf, Ihre Reinraumwagen in „Öfen“ zu verwandeln!
Die meisten Heizelemente strahlen Wärme in alle Richtungen ab. In einem Halbleiter-Reinraum ist das ein Problem. Wenn man diese älteren Heizgeräte verwendet, nehmen die Innenwände der Geräte all diese verschwendete Energie auf.
Das Ergebnis: Ein Gehäuse, das viel zu heiß ist, um es berühren zu können – sowie empfindliche Komponenten, die durch die thermische Ausdehnung beschädigt werden. Das ist wirklich chaotisch.
Die Wärme genau dorthin leiten, wo sie hingehört
Wir lösen dieses Problem, indem wir auf direktionale Infrarot-Heiztechnologie zurückgreifen. Stellen Sie sich das eher wie eine Taschenlampe vor – statt die Luft oder das Metallgehäuse zu erwärmen, senden die Infrarotlampen elektromagnetische Strahlung direkt auf den Werkstoff. Die Energie wird nur dann weitergeleitet, wenn sie auf eine Oberfläche trifft, die diese Wellenlängen wirklich aufnehmen kann.
Durch den Einsatz von Lampen mit reflektierenden Beschichtungen oder gefokussierten Quarzkörpern können wir die Wärme gezielt lenken. Dadurch entsteht kein „Ofeneffekt“ innerhalb des Wagens. Die Wafer oder Substrate erreichen die gewünschte Temperatur – während das Außengehäuse weiterhin kühl bleibt.
Ihr Team schützen
Es geht dabei nicht nur darum, etwas Geld bei den Stromkosten zu sparen. Es geht auch um die Menschen, die die Maschinen bedienen. Wenn die Wände kühl bleiben, muss man sich keine Sorgen darüber machen, dass jemand durch Berührung Verbrennungen erleidet, während er Teile einlegt oder Wartungsarbeiten durchführt.
Aber man muss auch auf die Leistung der Lampen achten. Hochleistungs-Infrarotlampen erreichen ihr Ziel sehr schnell. Doch wenn man die Leistung übertrieben erhöht und keine Schutzmaßnahmen ergreift, findet die Wärme trotzdem einen Weg ins Gehäuse. Ich empfehle daher, solche Lampen mit vergoldeten oder polierten Aluminiumreflektoren zu verwenden, damit der Strahl gezielt geleitet werden kann.
Der Kompromiss
Der Umstieg auf direktionale Heizung ist in der Regel ein einfacher Austausch gegen alte Systeme. Doch dadurch ändert sich auch die Art und Weise, wie die Maschine arbeitet. Da die Wärme so konzentriert ist, kann es zu „kalten Stellen“ kommen, wenn der Werkstoff nicht genau dort liegt, wo er sein sollte. Die Positionierung muss also präzise sein. Selbst ein kleiner Fehler führt zu einer ungleichmäßigen Erwärmung.