http://eco-ir-heater.com/de/tags/automatisiert/ Recent content in Automatisiert on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo de Mon, 08 Jun 2026 02:32:26 +0800 http://eco-ir-heater.com/de/posts/automated-wafer-drying-heater/ Mon, 08 Jun 2026 02:32:26 +0800 http://eco-ir-heater.com/de/posts/automated-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Automatischer Wafer Trocknungsheizer"></p> <p>Auf dem Fertigungsboden lassen Fotoresist-Prozesse und Trocknungsprozesse nach der Reinigung kaum Spielraum für Fehler. Wir sprechen hier von Toleranzen im Nanometerbereich. Eine Abweichung bei der Backtemperatur, ein nicht einheitliches Trockenprofil oder ein einziger Fremdpartikel, der während des Erhitzens eingebracht wird – und viele Wafer sind verloren.</p> <p>Wir haben den automatisierten Wafer-Trocknungserhitzer entwickelt, um diese Variablen auszuschließen.</p> <p><strong>Was unter der Haube zählt</strong><br> Das Gerät basiert auf kurzwelligen Infrarot-(NIR)-Emitter mit geschlossener Regelung. Die Sollwertstabilität liegt innerhalb von ±0,1°C über den Wafer verteilt, und die thermische Gleichmäßigkeit in der Prozessebene wird auf ±0,1°C gehalten. Dies gewährleistet reproduzierbare Soft-Bake- und Hard-Bake-Profile, Charge für Charge.</p>