http://eco-ir-heater.com/de/tags/peb/ Recent content in (PEB) on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo de Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/de/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/de/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Heizer für die Nachbelichtungsbefeuerung (PEB)"></p> <p>Auf der Lithografieebene zeigt sich eine Temperaturverschiebung des PEB-Verfahrens nicht durch ein Warnlicht an. Stattdessen äußert sich dies in Schwankungen der Linienbreite, in einer Verringerung des Dosisfensters sowie in Ausschusswaren, die erst hinterher entdeckt werden. Wir haben diesen Nachbehandlungsheizer entwickelt, um diese Unsicherheiten auszuschließen – schließlich verzeiht die Chemie des Fotolacks keine Abweichungen außerhalb seines thermischen Bereichs.</p> <p><strong>Was technisch wichtig ist</strong><br> Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotstrahlung mit Quarz-Halogendesign – dadurch wird die Wärme direkt auf den Wafer übertragen. Dadurch entsteht weniger thermische Trägheit und die Erwärmung erfolgt schneller. Auf der entire Heizfläche bleibt die Homogenität des Wafers bei ±0,1°C, und die Stabilität der Setzpunkte ist hoch genug, sodass die kritischen Abmessungen von Charge zu Charge konstant bleiben.</p>