http://eco-ir-heater.com/fa/tags/%D9%81%D8%AA%D9%88%D8%B1%D8%B2%DB%8C%D8%B3%D8%AA/ Recent content in فتورزیست on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo fa Thu, 04 Jun 2026 00:44:02 +0800 http://eco-ir-heater.com/fa/posts/photoresist-stripping-support-heater/ Thu, 04 Jun 2026 00:44:02 +0800 http://eco-ir-heater.com/fa/posts/photoresist-stripping-support-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="هیتر پشتیبانی برای حذف فتوماسک"></p> <p>در سالن لیتوگرافی، محفظه استریپینگ هیچ ارفاقی نسبت به نوسان دما ندارد. تغییر ۰.۵ درجه سانتی‌گراد در سطح ویفر می‌تواند باعث باقی ماندن یک لایه نازک از فوتورزیست، ایجاد میکروسکام و افزایش شمار ذرات شود. دقیقاً در همین نقطه است که هیتر پشتیبانی استریپینگ فوتورزیست نقش خود را ایفا می‌کند — با ثابت نگه داشتن شرایط مرزی حرارتی تا فرایند شیمیایی بتواند کار را به صورت تمیز به پایان برساند.</p> <p>در نهایت، آنچه لازم داریم، حرارت قابل تکرار با یکنواختی دقیق است. ما از المنت‌های مادون قرمز کوتاه‌موج استفاده می‌کنیم که با پروفایل جذب لایه فوتورزیست هماهنگ شده‌اند و یکنواختی در سطح ویفر را در حدود ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد تضمین می‌کنیم. بدنه هیتر از کوارتز و سرامیک با خلوص بالا ساخته شده که مناسب اتاق‌های تمیز کلاس ۱–۱۰۰ است و به گونه‌ای مهندسی شده که در حین سیکل کاری، ذراتی تولید نکند. تکرارپذیری هدف اصلی است. همان پروفایل دمایی، بارها و بارها — که باعث حفظ پایداری بایاس ابعاد بحرانی و کاهش ضایعات خط تولید می‌شود.</p>