Arrêtez de transformer vos chariots d’atelier propres en fours
La plupart des éléments chauffants diffusent simplement la chaleur dans toutes les directions. Dans une salle propre pour semi-conducteurs, c’est une vraie source de problèmes. Lorsque l’on utilise ces chauffages anciens, les parois intérieures des équipements absorbent toute cette énergie gaspillée.
Le résultat ? Un châssis tellement chaud qu’il est impossible de le toucher, et des composants sensibles qui se déforment à cause de l’expansion thermique. C’est un vrai désastre.
Diriger la chaleur là où elle doit aller
Pour résoudre ce problème, nous utilisons la technologie infrarouge directionnel. Pensez-y moins comme à un radiateur, et plus comme à une lampe de poche. Au lieu de chauffer l’air ou la coque métallique, les lampes infrarouges envoient des rayonnements électromagnétiques directement vers l’objet à chauffer. L’énergie ne se déplace que lorsqu’elle touche une surface capable d’absorber ces longueurs d’onde.
En utilisant des lampes dotées d’un revêtement réfléchissant ou de coques en quartz, nous pouvons diriger la chaleur vers l’objet à chauffer. Ainsi, l’effet “four” à l’intérieur du chariot disparaît. Vos wafer ou substrats atteignent ainsi la température souhaitée, tandis que la coque extérieure reste fraîche.
Protéger votre équipe
Réduire la chaleur sur les parois des équipements, ce n’est pas seulement une façon d’économiser de l’argent sur la facture d’électricité. C’est aussi une question de sécurité pour les personnes qui utilisent ces machines. Lorsque les parois restent froides, il n’y a pas de risque de brûlures lors du chargement des pièces ou lors des vérifications de maintenance.
Mais il faut être prudent quant à la puissance des lampes. Les lampes infrarouges à haute densité chauffent rapidement leur cible. Mais si vous dépassez les limites de puissance sans utiliser de protection, la chaleur trouvera quand même un moyen de pénétrer dans le châssis. Je conseille généralement d’utiliser des réflecteurs en aluminium plaqué or ou poli pour maintenir le faisceau concentré.
Les compromis
Passer à un système de chauffage directionnel est généralement assez simple par rapport aux systèmes anciens. Mais cela change la façon dont la machine fonctionne. Comme la chaleur est très concentrée, il peut y avoir des “zones froides” si l’objet à chauffer n’est pas positionné correctement. La précision de la positionnement est donc essentielle. Si la position est légèrement incorrecte, cela entraînera un chauffage inégal.