Chauffage automatique de séchage de plaquettes

Mon, 08 Jun 2026 02:32:27 +0800

Sur le plan de fabrication, le traitement du photoresist et le séchage post-nettoyage laissent peu de place aux erreurs. Nous parlons de tolérances au niveau des nanomètres. Une température de cuisson qui dérive, un profil de séchage non uniforme ou une particule errante introduite pendant le chauffage — et vous pouvez dire adieu à de nombreux wafers.
Nous avons conçu le chauffage à wafers automatisé pour éliminer ces variables.
Ce qui compte sous le capot
L’appareil s’appuie sur des émetteurs infrarouges à ondes courtes (NIR) avec un contrôle en boucle fermée. La stabilité du point de consigne reste dans une fourchette de ±0,1 °C sur le wafer, et l’uniformité thermique au niveau du plan de traitement est maintenue à ±0,1 °C. C’est ce qui permet aux profils de cuisson douce et de cuisson dure d’être reproductibles, lot après lot.
Le corps du chauffage est en quartz et en acier inoxydable de haute pureté, avec des pièces à faible dégazage et un agencement de flux d’air laminaire. L’objectif est simple : maintenir la génération de particules à zéro. Il se branche sur des pistes automatisées et des séchoirs autonomes, et le RS-485/Modbus gère le contrôle des recettes et la traçabilité.
Pourquoi il tient en production
En lithographie, la température de cuisson du photoresist est le réglage qui contrôle la viscosité, l’épaisseur et l’uniformité des dimensions critiques (CD). Dans le nettoyage et le séchage, un chauffage contrôlé réduit la tension de surface et empêche l’effondrement du motif — sans ajouter de contamination.
La compatibilité en salle blanche allant de la classe 1 à 100 provient de joints scellés, d’une évacuation compatible HEPA et de matériaux choisis pour générer un minimum de particules. Le résultat : des dimensions critiques prévisibles, moins de reprises et un rendement qui reste stable.
Le NIR répond rapidement, donc les temps de cycle diminuent sans dépasser votre budget thermique. La consommation énergétique diminue également.
Ce que vous devez prévoir
L’installation nécessite une alimentation électrique classée pour salle blanche et une mise à la terre pour maintenir les limites EMI/EMC intactes. Assurez-vous que votre tension et votre intensité locales correspondent à la configuration de l’ensemble d’émetteurs que vous utilisez.
Le chauffage atteint rapidement le point de consigne, mais n’oubliez pas le temps de saturation thermique dans la recette — surtout lorsque vous changez d’épaisseurs ou de types de résists.
Si vous utilisez des résists riches en solvants, confirmez que votre capacité d’évacuation locale peut maintenir les concentrations dans la zone de sécurité. Nous fournissons une documentation d’intégration, une traçabilité de calibration et une validation sur site pour s’aligner avec votre plan de contrôle de processus.

Galette on Eco-Friendly Infrared Heating

Chauffage automatique de séchage de plaquettes