בחדר הליתוגרפיה, שינויים בטמפרטורה של PEB אינם מוצגים על ידי אורות אזהרה. במקום זאת, הם מתבטאים בשינויים ברוחב הקווים, בירידה ברמת החשיפה, ובפסולת...

בחדר ההסרה על רצפת הליתוגרפיה, לא מקבלים ממך הנחות כשחום משתנה. שינוי של 0.5°C על פני הוופר יכול להשאיר עקבות דקיקות של פוטורזיסט, להזמין מיקרו-סבון,...