http://eco-ir-heater.com/he/tags/bake/ Recent content in Bake on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo he Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/he/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/he/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="מחמם לאחר חשיפה (PEB)"></p> <p>בחדר הליתוגרפיה, שינויים בטמפרטורה של PEB אינם מוצגים על ידי אורות אזהרה. במקום זאת, הם מתבטאים בשינויים ברוחב הקווים, בירידה ברמת החשיפה, ובפסולת שנוצרת – דברים שניתן לגלות רק לאחר מכן. יצרנו את מכשיר החימום הזה כדי להיפטר מחוסר הוודאות הזה, שכן כימיה של הפוטורזיסט אינה סולחת על סטיות מהטמפרטורה הנדרשת.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> אנו משתמשים באינפרא-אדום בעל גל אור קצר, כך שהחום מועבר ישירות אל הוואפר. כך יש פחות אינרציה תרמית, והוואפר מגיע לטמפרטורה הרצויה מהר יותר. על פני כל שטח החימום, האחידות של הטמפרטורה נשמרת ברמה של ±0.1°C, ויציבות הטמפרטורה גבוהה מספיק כדי שהממדים החשובים לא ישתנו מלוט ללוט.</p>