מחמם לאחר חשיפה (PEB)

בחדר הליתוגרפיה, שינויים בטמפרטורה של PEB אינם מוצגים על ידי אורות אזהרה. במקום זאת, הם מתבטאים בשינויים ברוחב הקווים, בירידה ברמת החשיפה, ובפסולת...