http://eco-ir-heater.com/he/tags/test/ Recent content in Test on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo he Sat, 27 Jun 2026 01:20:07 +0800 http://eco-ir-heater.com/he/posts/wafer-burn-in-test-heating-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 01:20:07 +0800 http://eco-ir-heater.com/he/posts/wafer-burn-in-test-heating-lamp/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="מבחן שריפת הוופר בעזרת נורת חימום"></p> <p>בחדר הייצור, שינויים תרמיים במהלך תהליכי החימום והעיבוד של הפוטורזיסט לא רק משפיעים על רמת האיכות – הם יכולים אפילו להרוס אותה לחלוטין. שינוי של 0.5°C בטמפרטורה בין חלקים שונים של הוופר יוצר גרדיאנט בתוך הפוטורזיסט, וגרדיאנט זה הופך לשגיאה בממדים לאחר החשיפה והעיבוד. יש צורך בחום שניתן לשלוט בו כמו בפרמטר תהליכי אמיתי, ולא כגורם לא צפוי.</p> <p><strong>מה חשוב באמת</strong> בנינו את נורות החימום שלנו על בסיס גופי פלסמה בתחום האינפרא-אדום, מכיוון שהן מפיקות אנרגיה במהירות ובאופן ממוקד, עם שליטה טובה בספקטרום האנרגיה. התוצאה היא אחידות טמפרטורה ברמה של ±0.1°C, פרופילי חימום עקביים, ותגובה תרמית מהירה מספיק כדי לאפשר עלייה חלקה בטמפרטורה ללא חריגות. המערכת מותאמת לשימוש בחדרי ייצור מסוג Class 1–100, באמצעות חומרים עם פליטת גזים נמוכה, ועיצוב מכני שמונע יצירת חלקיקים בנקודות החימום. ההספק נשאר יציב לאורך יותר מ-5,000 שעות, עם שינוי של פחות מ-5% בעוצמה – כך שהבקרה התרמית נשארת עקבית מלוטה ללוטה.</p>