http://eco-ir-heater.com/id/tags/panggang/ Recent content in Panggang on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo id Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/id/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Tue, 23 Jun 2026 12:51:33 +0800 http://eco-ir-heater.com/id/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Pemanas untuk proses Post Exposure Bake (PEB)"></p> <p>Di area litografi, fluktuasi suhu PEB tidak ditandai dengan lampu peringatan. Fluktuasi tersebut terlihat dalam bentuk lebar garis yang berubah-ubah, margin dosis yang berkurang, serta produk yang rusak yang baru dapat diketahui setelah proses selesai. Kami membangun pemanas pasca-pengexposur ini untuk menghilangkan ketidakpastian tersebut, karena reaksi kimia pada fotoresist tidak akan mentolerir adanya fluktuasi suhu di luar rentang yang ditentukan.</p> <p><strong>Yang penting secara teknis:</strong> Kami menggunakan sinar inframerah gelombang pendek dengan desain kuarsa-halogen, sehingga panasnya langsung sampai ke wafer. Dengan demikian, inersia termalnya rendah, sehingga suhu bisa lebih cepat mencapai nilai yang diinginkan. Di seluruh <a href="https://o-yate.com">permukaan</a> pemanas, keseragaman suhu wafer tetap stabil pada kisaran ±0,1°C. Hal ini memastikan bahwa dimensi-dimensi kritis wafer tidak berubah-ubah dari satu batch ke batch lainnya.</p>