http://eco-ir-heater.com/id/tags/tokyo/ Recent content in (Tokyo) on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo id Fri, 03 Jul 2026 02:57:57 +0800 http://eco-ir-heater.com/id/posts/tel-tokyo-electron-heater-lamp/ Fri, 03 Jul 2026 02:57:57 +0800 http://eco-ir-heater.com/id/posts/tel-tokyo-electron-heater-lamp/ <p><img src="http://eco-ir-heater.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="TEL (Tokyo Electron) – Lampu pemanas"></p> <p>Di area pabrik yang canggih ini, proses pembakaran wafer berlangsung dalam rentang suhu dan waktu yang sangat tepat. Setiap perubahan suhu sebesar satu derajat saja dapat menyebabkan ketidakstabilan pada profil fotoresist. Kontrol ketebalan garis pada permukaan wafer pun menjadi sulit, sehingga kemungkinan munculnya cacat pun meningkat.</p> <p>Itulah mengapa lampu pemanas TEL digunakan untuk memastikan suhu tetap berada dalam kisaran yang ideal, yaitu di dalam rentang proses yang ditentukan.</p> <p><strong>Yang penting dalam desain lampu ini</strong><br> Lampu ini menggabungkan kemampuan respons inframerah pendek dengan stabilitas kuarsa, sehingga memungkinkan kontrol suhu yang cepat dan akurat. Keseragaman suhu di seluruh permukaan wafer mencapai ±0,1°C. Hal ini sangat penting pada tahap-tahap kritis seperti proses pemanasan fotoresist, proses pengeringan setelah proses pembersihan, karena pola termal yang digunakan tetap sama dari satu batch ke batch lainnya.</p>