Moduli di riscaldamento a infrarossi per fab

Mon, 01 Jun 2026 12:21:19 +0800

Sul piano di produzione, la temperatura non è solo un parametro. È il processo. Una deriva della temperatura di cottura sposterà il flusso del photoresist e modificherà la dimensione critica. Un punto caldo durante l’asciugatura del wafer può creare una micro-pelle e trasformare la superficie in un trappola per particelle. Nel packaging, un profilo di polimerizzazione non uniforme si manifesta come deformazione e delaminazione—spesso solo dopo la singolazione, quando il die è già stato pagato. Quando il controllo termico fallisce, la linea non rallenta soltanto. A rischio vanno prima resa e ripetibilità. Abbiamo sviluppato moduli di riscaldamento a infrarossi per il fab perché il controllo termico deve essere misurabile, stabile e sufficientemente pulito da poter operare all’interno di ambienti Class 1–100—senza aggiungere rischi alla camera di processo.

Moduli on Eco-Friendly Infrared Heating

Moduli di riscaldamento a infrarossi per fab